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中古(動作確認済)

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FABSローツェロボット中古 Rorze Robot Working Used FABSローツェロボット中古 Rorze Robot Working Used
¥8,500,000
¥8,500,000
CMP装置用FABSロボットの再生済中古品。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。フルオーバーホールの対応も可能。 ※納期：受注後5～7週間※中古品につきタイミングによっては売り切れの場合があります。
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NSKメガトルクモーター＋ドライバー中古品(動作確認済) NSK Megatorque Motor & Driver Refurbished working unit NSKメガトルクモーター＋ドライバー中古品(動作確認済) NSK Megatorque Motor & Driver Refurbished working unit
ASK
CMP装置研磨ヘッド用メガトルクモーターとドライバー/コントローラーの中古品(動画確認済)。主にNSK製品に対応。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:RS0810FN544、ドライバーP/N:EP0810AF3-05、EP0810AF5-05、EP0810AF8-05。AMAT Mirra用。
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高圧(HV)スタック 200KeV 動作確認済中古品 High Voltage Stack Used Working unit for 9500xR 高圧(HV)スタック 200KeV 動作確認済中古品 High Voltage Stack Used Working unit for 9500xR
ASK
イオン注入(インプラ/IMP)装置用高圧(HV)スタック動作確認済中古品の販売。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91033の互換品。動作確認済。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。