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equipment parts
220 products
Sold Out
VME 162PA 344E-1 (VME PCB), 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用VME 162PA 344E-1 (VME PCB)(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:0660-00185。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
メインPDUラック(シャーシー/chassis付), 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用メインPDUラック(シャーシー/chassis付)(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:不明。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
モータースキャン, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用モータースキャン(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:1080-90184。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
プロファイラーアッセンブリー, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用プロファイラーアッセンブリー(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:0010-99120。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
Quantum(カンタム)モバイルPC, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用Quantum(カンタム)モバイルPC(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:0090-00050。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
G2シリーズ保護レジスター, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用G2シリーズ保護レジスター(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:9090-00659。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
バイアスPSU電源, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用バイアスPSU電源(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:1140-00152。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
フィラメント電源, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用フィラメント電源(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:1140-00154。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
アーク電源, 8インチ(200mm)用
ASK
イオン注入装置用アーク電源(中古品)の販売。修理済(※動作確認無し)。AMAT Quantum(カンタム) 8インチ(200mm)用。P/N:1140-00153。
リードタイム:受注後約2~3週間
(※中古品につき、ご注文のタイミングによっては在庫が無くなっている場合があります。)
保証:納入後3ケ月
Sold Out
スラリーパッド IPEC676, 8インチ(200mm)用
ASK
CMP装置用スラリーパッドの販売。IPEC676 8インチ(200mm)用。P/N:STT 711 - C7S - 10(Thomas West Inc社製品)の相当品。
リードタイム:受注後約5~6週間
保証:納入後3ケ月
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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CPUボード(中古:再生品)
ASK
CMP装置用CPUボードの販売。型式:ADP-506-09(2001-506DB)。F-REX300用。
リードタイム:受注後約2~3週間(2026年9月18日時点)
保証:納入後3ケ月
※数に限りがありますので、ご依頼のタイミングによっては売り切れになっている場合があります。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
Sold Out
MKS UPA
ASK
CMP装置用MKS製UPAの販売。MKS製。P/N:0190-15378R相当品。
リードタイム:受注後約5~6週間
保証:納入後3ケ月
※数に限りがありますので、ご依頼のタイミングによっては売り切れになっている場合があります。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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UPAアップグレード+ウォーターフォールタイプへのアップグレード
ASK
CMP装置のEPレギュレーター(主にSMC製)をデジタルレタイプのレギュレーターへ改造、および、Eチェーン(カットトラック)部位をウォーターフォール方式へ改造するアップグレード。AMAT Mirra用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用。EPレギュレーターの純正P/N:0015-03787(旧品番:0090-77286)等。
【アップグレードの内容】
・全4ヘッドUPAマニフォ...
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PRESSURE TRANSDUCER:0090-13003(旧品番:0090-77286)
ASK
CMP装置のロボット用プレッシャートランスデューサー(PRESSURE TRANSDUCER)の販売。AMAT Mirra用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用。P/N:0090-13003(旧品番:0090-77286)の互換品。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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SMC EPレギュレーター ➡デジタルレギュレーターへの改造キット
ASK
CMP装置のUPA用デジタルレギュレーターの販売。SMC EPレギュレーターをアップグレードするためのキット。AMAT Mirra用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用。P/N:0015-03787(旧品番:0090-77286)のアップグレードタイプ。キットはデジタルレギュレーター3個+専用PCB 1個で構成。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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12インチローラー, アップグレードタイプ
ASK
CMP装置用ローラーのアップグレードタイプの販売。300mm(12インチ) 用。ロングライフモデルでウェハ処理枚数換算で30,000枚(標準品)→60,000枚(アップグレード品)の処理枚数の実現実績あり。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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YASKAWAクロスモーター
ASK
CMP装置用クロスモーター(CROSS MOTOR)の販売。安川電機(YASKAWA)製。AMAT Mirra装置用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用。P/N:SGDA-04AS Y134の互換品。
保証期間:納入後3ケ月
納期:受注後約4~6週間
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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トラベルハブフレーム
ASK
CMP装置用トラベルハブフレーム(TRAVEL, HUB FRAME)の販売。AMAT Mirra装置用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用。P/N:0020-09655の互換品。
保証期間:納入後3ケ月
納期:受注後約5~6週間
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ジンバルベース, タイタン1ヘッド
ASK
CMP装置用ジンバルベース(Gimbal Base)の販売。AMAT Mirra装置用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用用。P/N:0040-77180の互換品。
保証期間:納入後3ケ月
納期:受注後約5~6週間
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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RFミニマッチ
ASK
エッチング(ETCHING/ETCH/ETHCER)装置用RFミニマッチ(Mini Match)の販売。LAM Research(ラムリサーチ) Alliance9400 DFM装置用。200mm(8インチ用)。P/N:853-250001-024の互換品。
保証期間:納入後3ケ月
納期:受注後約5~6週間
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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VAT S.10846-UE28バルブ用シールキット
ASK
VAT S.10846-UE28バルブ用シールキットの販売。VAT S.10846-UE24も共通。
【内訳】
1-1) Gate Compl 1個
1-2) Counter Plate 1個
1-3) Bonnet Gasket 1個
1-4) Bellows Gasket 1個
1-5) Leaf Spring 1個
1-6) Ball Stainless 1個
1-7) Bellow...
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TXZヒーター 0010-03244
ASK
CVD装置用TXZヒーター(TXZ Heater)。P/N:0010-03244の互換品。AMAT CVD装置Centura TXZチャンバー用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
オリンパス社 OMCL-AC55TS相当品 AFMプローブ SPM-AC55S-GS
ASK
生産終了されたオリンパス社のOMCL-AC55TSと同等品です。従来のオリンパス社製のAFMプローブと同様にご使用いただけます。
■SPM-AC55S-GS【振周波数】1125kHz (850~1400kHz)【バネ定数】85N/m (38~184N/m)【長さ×幅×厚さ】55µm (±10) × 31µm (±1) × 1.9µm (±0.3)【形状】短冊形【探針形状】テトラヘドラル【探針...
オリンパス社 OMCL-AC240TM相当品 AFMプローブ SPM-AC240S-AP
ASK
生産終了されたオリンパス社のOMCL-AC240TMの互換品です。従来のオリンパス社製のAFMプローブと同様にご使用いただけます。
■SPM-AC240S-AP【振周波数】70kHz (50~90kHz)【バネ定数】2N/m (0.6~3.5N/m)【長さ×幅×厚さ】240µm (±15) × 40µm (±2) × 2.3µm (±0.7)【形状】短冊形【探針形状】テトラヘドラル【探針高さ...
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