装置部品

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4インチ⽤Siフォーカスリング 10個/ロット RING FOCUS 4S 10pcs/lot

¥395,000

・抵抗値1〜30Ω.cm ・1D10-350748-21（互換品）・10個が最小販売ロット（MOQ）です

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¥850,000

Mirra 3400用のAI/Oボード。型式については別途お問い合わせください。

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AMAT CVGアッセンブリーアップグレード AMAT CVG Assembly Upgrade External Resistor Upgrade for Legacy tools

¥620,000

AMAT ENDURA,、P5000、Centura用CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。【特長】・セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除くことで全ての欠陥の元を無くすことができるデザインです。・再組み上げ時間を大幅に短縮し、最初の組み上げ成功率も向上させています。・PMの時間を短縮でき、装置ダウンタイムの低減に寄与します。【対応機種】 OEM Re...

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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle

¥90,000

日東工器社製真空ポンプ真空到達圧：-53.3kPa、吐出空気量が60L/min付属品：φ6エアーチューブ（2m）、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き）市販(ミスミ等)の真空レギュレータ等を使用することで減圧可能となります。※過去ミスミ製RVV6AG 詳しくはこちらから

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¥4,000,000

・製造中止で入手困難なNSKメガトルクモーター＋ドライバーに置き換え可能な互換性のあるモーター＋ドライバーのセットです。・ケーブル、コネクター、メカニカルホルダーAssy等のインターフェースキットを含んでいるため既存モーター＋ドライバーとの乗せ換えが容易です。・新品販売のため供給不足の問題に遭遇することがありません。

ASK

TEL(VARIAN) IMP装置E220/E500/EHP220/EHP500用パーツ。耐プラズマ/アーク等の機能面でオリジナル品の問題点を改善しています。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

from ¥100,000

FDDの置換えユニットです。メディアはUSB（8GBまで対応）を使用しますので入手困難となりつつあるフロッピーディスクの問題を解決します。加工装置や一部の半導体製造装置で実績がある商品です。 ATAPI通信規格対応、34ピンコネクター、2HD、1.44MB FD対応。USBメモリー　1個付き、取引け費用は含みません。Boot Disk、起動Diskには対応していません。詳しくはこちらから

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¥232,000

・FURON NVX2-144NC (旧型)の互換品・プラグ＆プレイのためすぐに取付可能・2個1セットが最小ロット

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¥3,300,000

純正パーツNo. 0660-01705または0190-14502に互換性のあるMEIボード。型式については別途お問い合わせください。

Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter

from ¥320,000

【Model 308】 Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.450 mw/cm2)*0-275 mw/cm2 range ±(.089% of reading +.0545 mw/cm2)*Linearity:0-275 mw/cm2 range ±(.002% of reading +.0297 mw/...

Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter

from ¥60,000

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¥2,300,000

タッチスクリーン式、USB内蔵のコンパクトなハンディタイプのUV照度計です。専用プローブ（365nm、400nm、420nm、436nm）と併用することで幅広いステッパー用途の波長の測定が可能になります。詳しくはこちらから model 対応波長帯域強度レンジ Model659 365nm – 436nm ～7,500mW/cm2 電源 3.7V充電式リチウ...

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Oxide Titan 1 3 Zone Head Assy (Excluding Retainer Ring and Membrane)

¥1,500,000

AMAT Mirra TITAN-1ヘッド用のキャリアヘッドAssyです。・3ゾーン仕様・リテーナーリング、メンブレンは含みません。・表示価格は１個時の単価です。

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PRF補助用樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance

¥7,000

真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるための樹脂製ローラーです。CCW再生時に必要なアイテムです。詳しくはこちらから

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QCウェットサイドAssyアップグレードモデル 0010-25969 QC Wetside Assy Upgrade model

¥1,320,000

AMAT CMP装置MESA用パーツ。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の機能面でオリジナル品の問題点を改善しています。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。詳しくはこちらから

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QCギアボックスアップグレードモデル 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Upgrade model

¥910,000

AMAT CMP装置MESA用パーツ。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の機能面でオリジナル品の問題点を改善しています。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。詳しくはこちらから

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QCドライサイドAssyアップグレードモデル 0010-25970 QC Dryside Assy Upgrade model

¥1,320,000

RAID1デュアルハードディスクシステム RAID1 Dual HDD System

ASK

3.5インチのHDDサイズで設計された、RAID１（ミラーリング）コントロールユニットです。内部には現行の通信規格であるSATA（シリアルATA）タイプの2.5インチHDDを2枚搭載し、万一、1枚のHDDがクラッシュしても、もう片方の正常なHDDにより装置停止を回避します。半導体製造装置を中心に多くの搭載実績を持つ商品です。詳しくはこちらから

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¥1,080,000

AMAT CVD装置Centura用パーツ。形状や型番は写真と異なる場合がありますので都度問い合わせください。

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アナログニューマティックボードアップグレードアッシー Analog Pneumatics Board Up-grade ASSY

¥1,200,000

・製造中止の純正Dual Channelアナログニューマティックボード（P/N：0050-01091）に置き換わるUp-gradeキットです。・本Up-gradeキットはデジタル式のため即座でより鮮明なエアーの読み取りが可能になります。・装置1台に2個必要だったアナログボードを本Up-gradeキット1式で性能をカバーします。・本Up-gradeキットを購入後、現場スタッフのみでセッテ...

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コンパクトフラッシュ(CF)ユニット Compact Flash (CF) Unit

ASK

SCSI規格のFDDの置換えユニットです。※現在では製造中止となっているFDドライブ、及び3.5インチFD（メディア）の入手は困難な状況となっています。 AMAT社装置を中心に多くの販売実績があります。一番の特徴はアクセススピードの速さです。※使用方法は、これまでご使用のFDDと全く同じです。装置の改造や設定変更なども一切必要ありません。詳しくはこちらから

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