ターゲット・ESCボンディング

自社設備を用いたスパッタリングターゲット（平板・円筒）、静電チャック（Eチャック/ESC）のボンディング・接合の受託加工 l  ISOに基づく品質保証体制 l  少量試作から量産向け供給まで幅広く対応 l  プラナー型のみでなく、コストメリットや歩留まりに優れた円筒形ターゲットにも対応 l  独自開発の高品質なボンディング材料や工法を保有 l  大型UT検査装置（超音波探傷）を自社保有 l ...