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オートマチックノッチアライナー Automatic notch aligner オートマチックノッチアライナー Automatic notch aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic notch aligner (WHS-A3) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査 l  ±1°ノッチアライメント...
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マニュアルノッチアライナー Manual notch aligner マニュアルノッチアライナー Manual notch aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Manual notch aligner (WHS-A4) l  接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l  200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l  ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...
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オートマチックフラットアライナー Automatic flat aligner オートマチックフラットアライナー Automatic flat aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) l  接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l  クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l  ±1以内の...
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ウェハソーター Wafer sorter ウェハソーター Wafer sorter
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner
ASK
ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。   WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...
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セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer
ASK
カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。   多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...
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POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】 POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】
ASK
POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】 POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
ASK
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大...
POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】 POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
from ¥1,540,000
from ¥1,540,000
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ...
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
from ¥1,020,000
from ¥1,020,000
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。 ※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。 【使用可能基板サイズ】 最大 φ...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 12 inch
from ¥1,310,000
from ¥1,310,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back ...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 8 inch TRIO-PLUS Wafer Holder for 8 inch
from ¥970,000
from ¥970,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 6 inch
from ¥880,000
from ¥880,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back ...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 5 inch
from ¥760,000
from ¥760,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating. A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back of the su...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 4 inch TRIO-PLUS Wafer Holder for 4 inch
from ¥690,000
from ¥690,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 3 inch
from ¥680,000
from ¥680,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 2 inch
from ¥640,000
from ¥640,000
Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
Sold Out
Dry ice (CO2) cleaning system Dry ice (CO2) cleaning system
¥3,000,000
¥3,000,000
A washing machine (equipment) that removes dirt with dry ice. A method in which crushed dry ice pellets collide with an object (base material). Effective for removal of deposits (attachments) of pa...
Sold Out
Dry ice (CO2) cleaning system Dry ice (CO2) cleaning system
¥5,500,000
¥5,500,000
A washing machine (equipment) that removes dirt with dry ice. A method in which crushed dry ice pellets collide with an object (base material). Effective for removal of deposits (attachments) of p...