Collection:
ETCH
23 products
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セーフガードウェハトランスファー Safeguard wafer transfer
ASK
SafeGuard wafer transfer (WHS-T1)
l 76 mm ~ 200 mm のウェーハ用の精密ロボット制御
l 薄い、反りのある、高価なウェーハを丁寧に処理
l コンパクトでメンテナンスの手間が少ない ISO 3 (クラス 1) 設計
l 設定を調整できるプログラム可能なタッチスクリーン
l オプションの反転カセット転送機能
【仕様】
76mm(φ3...
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オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer
ASK
Automatic wafer transfer
l SEMI準拠カセット間の自動ウェーハ転送
l 76mm、100mm、150mm、200mmウェーハに対応
l 安全センサーを内蔵したタッチスクリーン制御
l クリーンルームでの使用に適した帯電防止、耐薬品性素材
l 半導体向けISO 4およびCE認証
【仕様】
76mm(φ3インチ用)
パーツNo.:WHS-T2-301
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マニュアルウェハトランスファー Manual wafer transfer
ASK
Manual wafer transfer (WHS-T3)
l 76 mm ~ 200 mm のウェハーを手動で搬送
l UHMW ベアリングを備えたメンテナンスフリーのスライド レール
l SEMI 準拠の高/低プロファイル カセットで動作
l 帯電防止、耐薬品性、ISO 4 クリーンルーム対応
l ウェハーの反転/反転用のオプション モデル
【仕様】
76mm(φ3イン...
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POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】
ASK
POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プロ...
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POLOS Spin300x アドバンスドスピンコーターテーブルトップ POLOS Spin300x Advanced Spin Coater Tabletop 【予約品】
ASK
1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの300mm(12インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大...
POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】
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from ¥1,540,000
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from ¥1,540,000
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
テフロン製ポーラスインレーチャックアダプター Porous PTFE inlay chuck adaptor
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¥150,000
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¥150,000
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多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polos Spin 150x用の基板保持用のポーラスインレーチャック(アダプター)。ウェハ/ウェーハ/ウェハー用。10mm×10mm×100μmt用の真空チャック。6,000rpmも使用可能。
詳しくはこちらから
POLOS Spin150x デスクトップ POLOS Spin150x
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from ¥1,020,000
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from ¥1,020,000
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1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの150mm(6インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
最大 φ...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 12 inch
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from ¥1,310,000
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from ¥1,310,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back ...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 8 inch
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from ¥970,000
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from ¥970,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 6 inch
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from ¥880,000
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from ¥880,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back ...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 5 inch
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from ¥760,000
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from ¥760,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating. A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back of the su...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 4 inch
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from ¥690,000
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from ¥690,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 3 inch
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from ¥680,000
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from ¥680,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
TRIO-PLUS Wafer Holder for 2 inch
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from ¥640,000
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from ¥640,000
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Wafer/wafer/wafer (substrate) holder for chemical etching, electrolytic etching, and electrolytic plating (plating). A clamp type structure that prevents etchant/electrolyte from entering the back...
Centering Aid for Polos Spin Processor
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¥110,000
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¥110,000
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Multi-purpose/multi-spin processor (spin coater/spinner/spinner) Centering tool (jig) for Polos Spin150i/200i/300. For 150i, φ2 to φ6 inch, up to 4 inch square board, for 200i, up to φ2 to φ8 inch...
Polos Vacuum Pump for Spin Processor
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¥130,000
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¥130,000
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Vacuum pump for multi-purpose/multi-spin processors (spin coaters/spinners/spinners) Polos. Spin150i, Spin200i, Spin300i.
*Photo shows VP-230V
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J-type Foil Adapter
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from ¥80,000
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from ¥80,000
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Multi-purpose/multi-spin processor (spin coater/spinner/spinner) Vacuum chuck (adapter) for holding substrates for Polos. For small pieces/chips.
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Part No.
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D-type Fragment Adapter
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from ¥40,000
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from ¥40,000
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Multi-purpose/multi-spin processor (spin coater/spinner/spinner) Vacuum chuck (adapter) for holding substrates for Polos. For small pieces/chips.
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Standard C...
C-type Non-Vacuum, mechanical Chuck with 4 centering pins
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¥190,000
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¥190,000
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Non-vacuum mechanical chuck (adapter) for holding substrates for multi-purpose/multi-spin processors (spin coater/spinner/spinner) Polos. For wafer/wafer/wafer.
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A-type Vacuum chuck without centering pins
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from ¥60,000
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from ¥60,000
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Multi-purpose/multi-spin processor (spin coater/spinner/spinner) Vacuum chuck (adapter) for holding substrates for Polos. For wafer/wafer/wafer.
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Standard Ch...
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Dry ice (CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-V "Reborn"
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¥3,000,000
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¥3,000,000
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A washing machine (equipment) that removes dirt with dry ice. A method in which crushed dry ice pellets collide with an object (base material). Effective for removal of deposits (attachments) of pa...
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Dry ice (CO2) cleaning system "SUPERBLAST" DSC-I
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¥5,500,000
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¥5,500,000
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A washing machine (equipment) that removes dirt with dry ice. A method in which crushed dry ice pellets collide with an object (base material). Effective for removal of deposits (attachments) of p...
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