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ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」DSC-V「Reborn」Dry ice(CO2) cleaning system

¥3,000,000

ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。半導体製造装置用部品(パーツ)のデポ(付着物)除去に有効。エッチング工程向け。精密洗浄。CO2洗浄。詳しくはこちらから仕様本体寸法（mm） 450(W)×450(D)×780(H)　本体重量 40kg～80kg　（軽量化はオプション）ガン寸法　重量 24(W)...

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ドライアイスブラスト剥離洗浄機「スーパーブラスト」PT-MINI Dry ice(CO2) cleaning system

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ドライアイスで汚れを剥離する洗浄機(装置)。粉砕したドライアイスペレットを対象物(母材)に衝突させる方式。油汚れの除去や塗装剥がしにも有効。工場内設備の定期洗浄(メンテナンス)などに最適。直圧式洗浄機。CO2洗浄。詳しくはこちらから仕様本体寸法（mm）・重量 410(W)×470(D)×480(H) ・ 26kg ガン寸法 65(W)×315(D)×185(H） 1kg ...

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CVD装置用ナイトライドプレートの販売。AMAT(Applied Materials) Centura用。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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¥120,000,000

デスクトップ式ナノパターン露光(フォトリソグラフィー)装置。タルボ効果を利用し周期構造に対してハーフピッチ150nmの一括露光が可能。電子ビーム描画レベルの解像度で周期性をもったデバイス開発に最適。DUV光源選択時にはハーフピッチ75nmの一括露光も可能。詳しくはこちらからナノパターン露光装置PhableR 100の仕様解像度 150nm ハーフピッチ（リニアグレーティング）＊D...

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¥44,000

~~¥35,000~~

■品名Description：Nb2O5 3N φ10xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Nb2O5 ・純度Purity:99.8% ・サイズSize:φ10xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥79,000

~~¥63,000~~

■品名Description：Nb2O5 3N φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Nb2O5 ・純度Purity:99.8% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥18,000

~~¥14,000~~

■品名Description：Ni 4N φ10xt10 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ10xt10 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥15,000

~~¥11,300~~

■品名Description：Ni 4N φ10xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ10xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥32,000

~~¥25,000~~

■品名Description：Ni 3Nup φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.8% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥28,000

~~¥22,000~~

■品名Description：Ni 4N φ20xt5 ■仕様Specification: ・材質Material:Ni ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ20xt5 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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CMP装置用ハウジングアッセンブリーの販売。Profiler IE HEAD用部品。P/N:0040-49305の互換品。AMAT Reflexion用。12インチ/300mm用。

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¥84,000

~~¥67,000~~

■品名Description：V 3N φ10×t3 ■仕様Specification: ・材質Material:V ・純度Purity:99.9% ・サイズSize:φ10xt3 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥84,000

~~¥67,000~~

■品名Description：V 3N φ20×t3 ■仕様Specification: ・材質Material:V ・純度Purity:99.9% ・サイズSize:φ20xt3 ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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パッドコンディショナー(モーター付き) Pad Cond Assy with Motors

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CMP装置用パッドコンディショナーAssy(モーター付き)の販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N: 0010-12344の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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パッドコンディショナーDDF3ヘッド改造キット Pad Conditioner DDF3 Head Conversion Kit

¥220,000

パッドコンディショナーDDF3(DDF-3)ヘッド用の改造キット。ダイアフラム/ダイヤフラムレスの設計でリークの問題を低減。シリンダー式。組立て手順書含む。AMAT CMP装置Mirra用。P/N:BW412CA43。

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パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT

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CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。

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パッドコンディショナースイッチングバルブ Pad Conditioner Switching Valve

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CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ＆プレイ」で装置へのインストールが簡単（15分以内）、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。

パッドコンディショナーローテーションギアボックス Pad Conditioner Rotation Gear Box

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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。純正(OEM)モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS03納期：受注後22週間。

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CMP装置用パッドコンディショナーローテーションギアボックスの販売。非純正(2ndソース)モデル。内部シール、ギアデザインの改善モデル。NEMA 17マウント(Mount), 22:1(Rotation)。8インチ/200mm用。P/N：BW304PS11納期：受注後2週間。

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パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス Pad Cond Rotation Motor Gearbox CGI 017PLX0220-XX3959X

¥400,000

パッドコンディショナーローテーションモーターギアボックス/Pad Cond Rotation Motor Gearbox/Gear Box。 CGI 017PLX0220-XX3959Xの互換品。AMAT Mirra CMP装置用。修理/オーバーホールも対応可能。

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パワーサプライ(ボード・カード) Power Supply (Board, Card)

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イオン注入(インプラ/IMP)装置のパワーサプライ(電源)/カード/ボード/PCBの販売。P/N: E21000124の互換品。VIIsta 8インチ(200mm)、12インチ(300mm)用。VARIAN/AMAT装置向け。

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¥1,100,000

パワーサプライ(電源)。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。詳しくはこちらから品名型番用途 Power Supply PS with thyristor pre-regulation, LAN Comp.-interface and Coarse/Fine-Po...

パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)

¥29,000 から

¥0

チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...

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CVD装置用ヒーターリフトブラケットの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0021-09721の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。