ALL

ASK

アルミ製カセット 13スロット　Aluminum Process Cassettes 13 slots

ASK

高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。 WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）...

ASK

アルミ製カセット 25スロット　Aluminum Process Cassettes 25 slots

ASK

ASK

イオン注入(インプラ/IMP)装置のイオンソース(イオン源)を標準バーナス型からIHC(カソード)型へ改造するアップグレード。イオンソースのロングライフ化が実現可能。追加のカソード電源も準備可能。VIISion、VIISta、GSD、PI9500(PI-9500)XR/XR80等に対応。

ASK

¥5,250,000

CMP装置用ウェットロボットAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-77676、 0010-77400等。

ASK

ASK

CMP装置用ウェットロボットの修理。モーター、リードスクリュー、リボンケーブル、PCB、バキュームトランスデューサーの部品交換も可能。修理後のロボットはMirraテスト機でのロボット軸フォーミング及び初期化を実施。P/N:0010-77676。

ASK

¥1,200,000

CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツ。ウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシー。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。修理/オーバーホールも対応可能。

ASK

ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair

¥500,000

CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。詳しくはこちらから

ASK

ASK

クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...

ASK

ASK

WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。 l 独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止 l 読み取りを容易にしたウェハスロット構造（前のスロッ...

ASK

ウェハサポート, クリーナー300MM HMVセット WAFER SUPPORT, CLEANER 300MM HVM Set

¥210,000

CMP装置スピンドルシャフト用のウェハ/ウェハーサポートクリーナーHVMのライトサイド(0021-14649)、レフトサイド(0021-14650)、センターサスロット(0021-14651)の1セット。個別販売も可能(MOQ 各2個)。AMAT Reflexion 300mm用。スピンドルシャフトAssyの修理対応も可能。

ASK

ASK

カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...

ASK

ASK

CVD装置用オゾンジェネレーターの修理。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0190-35872等の修理。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

ASK

ASK

オートマチックウェハトランスファー Automatic wafer transfer

ASK

ASK

ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 Automatic notch aligner (WHS-A3) l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l 複数のアライメントプログラム: 標準、薄型/複合ウェハ、エッジ検査 l ±1°ノッチアライメント...

ASK

ASK

ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 Automatic wafer flat aligner (WHS-A1) l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造 l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー l ±1以内の...

ASK

カスタムプロセスアルミ製カセット 3インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 3inch-25 slots

ASK

カスタムプロセスアルミ製カセット 4インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 4inch-25 slots

ASK

カスタムプロセスアルミ製カセット 6インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 6inch-25 slots

ASK

カスタムプロセスアルミ製カセット 8インチ25スロット　Custom process Aluminum Cassettes 8inch-25 slots

ASK

カップクランプスクリュー(ブラック) CUP,CLAMP SCREW (BLACK)

ASK

CVD装置用カップクランプスクリュー(ブラック)の販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-33343の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

ASK

¥210,000

カバー付き電解液タンク。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。詳しくはこちらから品名型番用途 Electrolyte tank with cover Tank 3 Glass + Lid PP for quick release couplings and Pt1...

ASK

カラードライブヒーターリフトDXZ Collar, Drive, Heater Lift DXZ

ASK

CVD装置用カラードライブヒーターリフトDXZの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0040-45505の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

ASK

ASK

CVD装置用ガイドノズルアジャスターの販売。AMAT(Applied Materials)/Novellus(ノべラス) Concept-One/1(コンセプトワン)又はTwo/2用。P/N:15-00027-02の互換品。材質：材質：アルミ(Aluminum)。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。