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CVD装置用ヒーターリフトブラケットの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0021-09721の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment

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スパッタ(PVD)、CVD装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)およびヒーターの再生。Centura HDP、TXZ/WXZ/CXZ/DXZ、Producer(プロデューサー)、P5000(P-5000)、ENDURA5500等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にAMAT 8、12インチ(200、300mm）向け。P/N:0040-18219、0040-48594、00...

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¥125,000

~~¥100,000~~

■品名Description：Bi 4N φ101.6×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Bi ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ101.6xt5 ・その他Other:ボンディング含まず ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥188,000

~~¥150,000~~

■品名Description：Bi 4N φ152.4×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Bi ・純度Purity:99.99% ・サイズSize:φ152.4xt5 ・その他Other:ボンディング含まず ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥40,000

フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。 ※最小販売ロット数3個詳しくはこちらから

¥85,000 から

製造/生産中止のフロッピーディスク(FD/Floppy Disk)をSDカードに置き換えるための変換機器/アダプター。PC/FC9801、AT互換機に対応。SCSI通信規格用も別途ラインアップ。詳しくはこちらから

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¥298,000

多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるIoTエッジデバイスとゲートウェイの販売。異なるメーカー製センサーを組み合わせてのセンシングが可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。詳しくはこちらから【セット構成】・NSX7000(1)・ロッ...

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ブルーエクステンダー追加エッジデバイス BlueXtender Additional Edge Device

¥42,500

多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるIoTエッジデバイス単品の販売。異なるメーカー製センサーを組み合わせてのセンシングが可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。詳しくはこちらから【セット構成】・BlueXtenderEdge(1)...

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プラテンモーターサーボバック(ドライバー)修理 Platen Motor Servo Pack (Driver) Repair

¥560,000

CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。詳しくはこちらから

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プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing

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CMP装置用プラテンモータープーリー・ブッシングAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish

¥700,000 から

CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...

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CMP装置用プラテンの修理。表面の研磨・平坦化、エラストマーの再コート(黒テフロン又は純正グレー:Everslick)、ヘリサート再挿入、ネジ穴修理等。P/N:0040-77041/C、0010-77073等に対応。AMAT Mirra 6、8インチ(150mm、200mm)用。

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プレートレベリングヒーターリフト Plate, Leveling, Heater Lift

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CVD装置用プレートレベリングヒーターリフトの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-33346の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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ヘッドスウィープモーターAssy修理 Head Sweep Motor Repair

¥450,000

CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの修理。純正品に見られるケーブル切れの問題を改善したアップグレード付修理。P/N:0010-77217、0010-03697。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。詳しくはこちらから【修理内容】 Headsweep is fully inspected upon receipt A2 and A3 assemblies are mo...

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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの販売。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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¥870,000

ホースポンプ。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。詳しくはこちらから品名型番用途 Hose Pump HP application: filling, through-flow and draining of the unit. seals up to 99 °

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ポンプI/O修理 PUMP I/Oの修理。P/N:2980-091285-11 (型番 HTE-PP1-Aｰ11（TAB1500)に対応。TEL ACT8用。

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PVD(スパッタリング)装置用マグネットAssyの販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0010-20224の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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メインコントローラー(コントロール)ボックス修理/アップグレード Main Controller (Control) Box Repair/Up-grade

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コーター(コータ)デベロッパー用のメインコントローラー(コントロール)ボックスの修理、#2(入手困難なフロッピーディスク/FD)から#3.5(USB、HDDミラーリングシステム、RAID、マスター/スレーブ機能搭載)へのアップグレード。TEL ACT8(ACT-8)用。フォトリソグラフィー。詳しくはこちらから