1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。
※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。
【使用可能基板サイズ】
l 最大 φ8インチ(200 mm)ウェハ形状
l 最大 □6インチ(150 mm)の基板（角基板）
【主な機能】
l 液体フィルタートラップ・シリンジまたはディスペンスノズル用の中央部注入ホルダー
l 安全性を考慮した開閉蓋ロック機能と真空センサー
l 取り外し可能な大型タッチスクリーンディスプレイ
l USBドライブにレシピ保存が可能。ソフトウェアアップデートを行うためのUSBポート仕様ドライブユニット
l 間接ブラシレスドライブユニット-最大12,000 RPM
l 加速度：1～ 30,000 RPM・時計回り/反時計回りの回転、パドルモード動作
l アドバンスドモデルの付加機能：プログラム可能なモーターホーミングオプション
ロボット制御/自動化
自動蓋開閉
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