POLOS 450 NPPアドバンスドPPスピンプロセッサー POLOS450 NPP Advanced PP Spin Processor【予約品】

POLOS 450 アドバンスド シングル サブストレート スピン プロセッサ、デスクトップ バージョン、NPP ハウジング、スピンカップ、手動ケミカル ディスペンス、ヘビー デューティ モーター付き。空気力学的に効率的なチャンバーが均一性を高め、天然ポリプロピレンまたはステンレス スチールのプロセス チャンバーが汚染のない、簡単に清掃できるプロセス領域を保証します。すべてのユニットに、プログラム可能な CW および CCW 回転とパドル機能が備わっています。

乾燥、すすぎ/洗浄、自動コーティングに最適です。

POLOS 450 Advanced Single Substrate Spin Processor, Desktop version with NPP housing, spincup, manual chemical dispense and heavy duty motor. An aerodynamically efficient chamber enhances uniformity, while the natural polypropylene or Stainless Steel process chamber guarantees a contamination-free, easy to clean process area. All units feature programmable CW & CCW Rotation and puddle function.

Most suitable for drying, rinse/cleaning and automatic coating

Specifications:

• Up to 500 mm round and 350 x 350 mm square substrates
• Material: Natural Polypropylene (High grade NPP, tool body and all wetted surfaces)
• Manual chemical dispense 2 automatic static dispense lines
• Pneumatic lid opening and closing
• Chuck adapter and one vacuum chuck for up to 3 wafer sizes
• Speed max 1500 rpm
• Automatic Sequential or Parallel Chemical Dispensee
• Transparent Lid with 6x injector assemblies around centre. (Each programmable independently)
• CW & CCW Puddle Rotation
• (Detachable) Colour Touchscreen with Customisable Icons
• Standard 1" Drain Connection
• Precision Digital Motor Controller (max 1,500 rpm)
• Separate module for housing 6x peristaltic pumps

詳しくはこちらから