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ウェハ

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ASK
PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
¥7,000
¥7,000
チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。 詳しくはこちらから
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Si基板5～50um LT & LN 薄膜付きシリコンウェハ
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φ4インチ PE-CVD 1μm (片⾯)付Siウェハ
¥132,600 から
¥132,600 から
納期：受注後約2週間 ※納期につきましては、枚数やご注文タイミングなどの詳細がわかればもう少し早くに調整することも可能です。 ※表示価格は当方標準条件での成膜の場合となります。 　1枚からでも加工対応は可能ですが、その場合はセットアップ費用分を別料金で頂くため、価格が大きく変わってきます。ご注意ください。
φ4インチ熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥120,000
¥120,000
φ4インチ熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。 ＜仕様＞・4インチウェハ・直径：100±0.2㎜・⾯状態：⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド・厚さ：525±25μm・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・熱酸化膜膜厚：10000ű10％ 【特記事項】・Siウェハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予め...
φ4インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥150,000
¥150,000
φ4インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後6～7週間程かかります。 ＜仕様＞ 4インチウェハ直径：100±0.2㎜面状態：片面ミラー/片面エッチド厚さ：525±25μm導電型：P型抵抗値：1－100Ω・㎝熱酸化膜膜厚：20000ű10％納期：6－7週間 【特記事項】・Siウェハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予め...
φ6インチ×350μmt 熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 φ6インチ×350μmt 熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥207,500
¥207,500
φ6インチ×350μmt 熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後8～9週間程かかります。 仕様直径：150±0.5㎜面状態：片面ミラー/片面エッチド厚さ：350±25μｍ導電型：Ｐ型抵抗値：1－100Ω・㎝面方位：100熱酸化膜膜膜：10000ű10％納期：8－9週間 【特記事項】・Siウェハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねま...
φ6インチ熱酸化膜100000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥1,400,000 から
¥1,400,000 から
φ6インチ熱酸化膜100000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後8～9週間程かかります。 ※特注の厚膜品のため、膜の密着性等の保証は不問となります。 ＜仕様＞・直径：150±0.2㎜・面状態：片面ミラー/片面エッチド・厚さ：625±25μm・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・熱酸化膜厚：100000ű10％・納期：8週間※写真は製品イメージであり...
φ6インチ熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥140,000 から
¥140,000 から
φ6インチ熱酸化膜10000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。 ＜仕様＞・直径：150±0.2㎜・面状態：片面ミラー/片面エッチド・厚さ：625±25μm・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・熱酸化膜厚：10000ű10％・納期：1週間・数量：25枚又は50枚※写真は製品イメージであり実物とは異なります。※各製品の納期は...
φ6インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥150,000 から
¥150,000 から
φ6インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。 ＜仕様＞・直径：150±0.2㎜・面状態：片面ミラー/片面エッチド・厚さ：625±25μm・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・熱酸化膜厚：20000ű10％・納期：1週間・数量：25枚又は50枚※写真は製品イメージであり実物とは異なります。※各製品の納期は...
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φ8 φ8
¥187,200
¥187,200
 【内訳】 8インチ⽤チャッククリーニングウェハ（CCW） ・RNC-SCB-0043NG7 強粘タイプ　1枚・・・主にETCH/PVD⽤   8インチ⽤CCW⽤9インチ□パーティクルリムーバルフィルム（PRF）1セット＝10枚⼊ ・RNP-PRF-1038（シリコーン系CCW⽤）
φ8インチ熱酸化膜1,000nm(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥162,500
¥162,500
φ8インチ熱酸化膜1,000nm(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ・直径：200±0.2㎜・面状態：片面ミラー/片面エッチド・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・厚さ：725±25μm・面方位：100・熱酸化膜：1,000nm±10％ ・納期：受注後1週間・数量：25枚 ※写真は製品イメージであり実物とは異なります。
φ8インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥182,500 から
¥182,500 から
φ8インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ※在庫品ではありません。納期は受注後4～6週間程かかります。 ・直径：200±0.2㎜・面状態：片面ミラー/片面エッチド・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・厚さ：725±25μm・面方位：100・熱酸化膜：20000ű10％※写真は製品イメージであり実物とは異なります。※各製品の納期は都度お問い合わせください。・納期：別...
φ8インチ薄型基板_熱酸化膜1,000nm(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
¥582,500 から
¥582,500 から
φ8インチ薄型基板_熱酸化膜1,000nm(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 ①8インチ×500μmt _熱酸化膜1,000nm(両⾯)付Siウェハ 25枚1式 直径：200.0±0.2mm 厚み：500±25µm 導電型：P型 抵抗値：1-100Ω・cm 面方位：（100）±1° ノッチ方位：〈110〉±1° 面状態：両面ミラー パーティクル：≧0.2µm、≦30ea（成膜前基板） 熱酸化...
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オーダーメイドLN & LT薄膜ウェハ オーダーメイドLN & LT薄膜ウェハ
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 12インチ Chuck Cleaning Wafer 12 inch
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-SCB-0015NG7(CCW-7015-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 4インチ Chuck Cleaning Wafer 4 inch
¥0 から
¥0 から
真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-25A-0020F(CCW-7020-001-257-FL), RNC-15B-00...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-15B-0021F(CCW-7021-01-150-FL), RNC-15B-002...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025 チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MC...
チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 6インチ Chuck Cleaning Wafer 6 inch
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-15B-0022J(CCW-7022J-01-150-FL), RNC-15B-00...
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チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch チャッククリーニングウェハ(CCW) 8インチ Chuck Cleaning Wafer 8 inch
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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。 RNC-SCB-0043NG7(CCW-7043-01-SC4-HT), RNC-SCB-0...
ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF) ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)
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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから
パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF) パーティクルリムーバルフィルム(PRF) Particle Removal Film (PRF)
¥29,000 から
¥29,000 から
¥0
チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。ETCH(エッチング)/スパッタ(PVD)用CCW専用。 RNP-PRF-1255(PRF-1255-BL), RNP-PRF-1038(PRF-1038-BL), RNP-PRF-1593(PRF-1593-BL), RNP-PRF-1138(...
樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ 樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ
¥200,000 から
¥200,000 から
樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。 詳しくはこちらから
樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ 樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ
¥310,000 から
¥310,000 から
樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。 詳しくはこちらから