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ウェハ

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ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF) ディフェクトリムーバルフィルム(DRF) Defect Removal Film (DRF)
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チャッククリーニングウェハ(CCW)を再生するためのお掃除シート。4、5、6、8、12インチCCW用に3種類のラインアップ(7、9、13インチ□)。フォトリソ/露光用CCW専用。 RNC-DRF-1255(DRF-1255), RNC-DRF-1038(DRF-1038), RNC-DRF-1593(DRF-1593) 詳しくはこちらから
樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ 樹脂製真空台 2層 12,8,6,5,4インチ 各インチ専用タイプ
¥200,000 から
¥200,000 から
樹脂製真空台 2層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の専用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。 詳しくはこちらから
樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ 樹脂製真空台 3層 12,8,6,5,4インチプレート交換可能タイプ
¥310,000 から
¥310,000 から
樹脂製真空台 3層式。4、5、6、8、12インチチャッククリーニングウェハ(CCW)用の兼用治具。CCWを再生する際のCCWを固定するために使用。樹脂製のため傷やパーティクル発生のリスクが低減可能。各インチ用プレートが必要。 詳しくはこちらから
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CCW再生用_樹脂製真空台用_真空ポンプ Vacuum Pump for polymer vacuum plate for CCW recycle
¥90,000
¥90,000
  日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。 詳しくはこちらから
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PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance PRF補助用 樹脂製ローラー Polymer Roller for PRF assistance
¥7,000
¥7,000
チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する樹脂製ローラー。真空台上で吸着したCCWに、Particle Removal Film(PRF)を気泡を追い出しながら押し当てるためのパーツ。 詳しくはこちらから
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オーダーメイドLN & LT薄膜ウェハ オーダーメイドLN & LT薄膜ウェハ
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窒化アルミニウム（AlN）ウェハ 窒化アルミニウム（AlN）ウェハ
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窒化アルミニウム（AlN）単結晶の製品を提供します。 ご希望の仕様についても対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。
φ4インチ PE-CVD 1μm (片⾯)付Siウェハ
¥132,600 から
¥132,600 から
納期：受注後約2週間 ※納期につきましては、枚数やご注文タイミングなどの詳細がわかればもう少し早くに調整することも可能です。 ※表示価格は当方標準条件での成膜の場合となります。 　1枚からでも加工対応は可能ですが、その場合はセットアップ費用分を別料金で頂くため、価格が大きく変わってきます。ご注意ください。