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φ6インチ熱酸化膜20000Å(両⾯)付Siウェハ 25枚1式
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＜仕様＞・直径：150±0.2㎜・面状態：片面ミラー/片面エッチド・厚さ：625±25μm・導電型：P型・抵抗値：1－100Ω・㎝・熱酸化膜厚：20000ű10％・納期：1週間・数量：25枚又は50枚
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