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修理/再生/OH

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プラテンモーターサーボバック(ドライバー)修理 Platen Motor Servo Pack (Driver) Repair
¥560,000
¥560,000
CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから
プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish
¥700,000 から
¥700,000 から
CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...
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クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシー修理 Cross Pedestal (Harmonic Drive) Assy Repair クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシー修理 Cross Pedestal (Harmonic Drive) Assy Repair
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CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシーの修理。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービス。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
NSKメガトルクモーター＋ドライバー修理/再生 NSK Megatorque Motor & Driver Repair/Refurbish/Overhaul NSKメガトルクモーター＋ドライバー修理/再生 NSK Megatorque Motor & Driver Repair/Refurbish/Overhaul
¥190,000 から
¥190,000 から
CMP装置研磨ヘッド用メガトルクモーターとドライバー/コントローラーの修理/再生。主にNSK製品に対応。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:RZ0810FN507/RS0810FN544、ドライバーP/N:EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF8-05、0190-14344に対応。AMAT Mirra用。 詳しくはこちらから
ロータリーユニオン修理/再生/オーバーホール Rotary Union Repair/Refurbish/Overhaul ロータリーユニオン修理/再生/オーバーホール Rotary Union Repair/Refurbish/Overhaul
¥350,000 から
¥350,000 から
CMP装置研磨ヘッド用ロータリーユニオンの修理/再生/オーバーホール。主にDublin製品に対応。3/4/6/8ポート(ゾーン)に対応。バック回収、パーツ交換、再組立、テスト。主に0190-17925/0760-01020/0760-01034/0760-01037/0190-12122/0190-34105用。AMAT Mirra用。 詳しくはこちらから
スピンドルシャフト修理 Spindle shaft Repair スピンドルシャフト修理 Spindle shaft Repair
¥850,000 から
¥850,000 から
CMP装置用スピンドルシャフトの修理。標準修理(洗浄＋スプラッシュガードのパウダーコート＋ベアリング4交換)と、新品スピンドルシャフト交換込みのサービス。P/N:0021-79724、0010-77307の互換品。AMAT Reflexion向け。
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ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair
¥500,000
¥500,000
CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。 詳しくはこちらから