徴収:
修理/再生/OH
スピンドルシャフト修理 Spindle shaft Repair
定価
¥850,000 から
販売価格
¥850,000 から
定価
単価
/対して
CMP装置用スピンドルシャフトの修理。標準修理(洗浄+スプラッシュガードのパウダーコート+ベアリング4交換)と、新品スピンドルシャフト交換込みのサービス。P/N:0021-79724、0010-77307の互換品。AMAT Reflexion向け。
ASK
ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair
定価
¥500,000
販売価格
¥500,000
定価
単価
/対して
CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。
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