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修理/再生/OH

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定価 ¥850,000 から
販売価格 ¥850,000 から
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CMP装置用スピンドルシャフトの修理。標準修理(洗浄+スプラッシュガードのパウダーコート+ベアリング4交換)と、新品スピンドルシャフト交換込みのサービス。P/N:0021-79724、0010-77307の互換品。AMAT Reflexion向け。
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定価 ¥500,000
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CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。 詳しくはこちらから