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修理/再生/OH

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プラテン(静電チャック/ESC/Eチャック)再生/修理 Platen(ESC/ECHUCK) Refurbishment/Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のプラテン/静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:E11144768/E11488220/E11488221/E11488222互換品。AMAT(Applied Materials)/Varian VIISta用。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生/修理 ESC/ECHUCK Refurbishment/Repair 静電チャック(ESC/Eチャック)再生/修理 ESC/ECHUCK Refurbishment/Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:NI970858の互換品。Exceed2000/2300用。
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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30
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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (N) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM010HK30
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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20
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・品名：M1020 2PH Motor Repair kit (O) ・Description：Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM010HK20
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M350 2PH Motor Repair Kit CM008HK20
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・品名：M350 2PH Motor Repair Kit ・Description：Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。 ・純正P/N：CM008HK20
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CT/OB-10 15K Array CT010V030
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・品名：CT/OB-10 15K Array ・Description：Cryo Torr-10クライオポンプまたはOn Board-10クライオポンプに適しています。 ・純正P/N：CT010V030
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CT/OB-8 15K Array CT008V030
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・品名：CT/OB-8 15K Array ・Description：Cryo Torr-8クライオポンプまたはOn Board-8クライオポンプに適しています。 ・純正P/N：CT008V030
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スピードファム(SPEEDFAM)向け。
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スピンドル修理 Spindle Repair スピンドル修理 Spindle Repair
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CMP装置用スピンドルの修理。標準修理。スクリーン(SCREEN) MP3000向け。
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ターンテーブルモーター修理 Turn Table Repair
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CMP装置用ターンテーブルモーターの修理/オーバーホール。主にベアリングの交換。P/N:C-5172-042-0001/K89EB7341B。EBARA(荏原) EPO用。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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8インチポリイミド静電チャック再生(ESC/Eチャック) 8INCH Polyimide ECHUCK(ESC) Refurbishment
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。アルミ(Al)アルマイト(アノダイズ)再生＋ESC貼り換え、ESC貼り換えのみの二通りの再生。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0041-34688/0010-10327/0040-99949の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair 静電チャック(ESC/Eチャック)用電源修理 ESC/ECHUCK Power Supply Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)用電源の修理。純正P/N:E19283790、E11287900の互換品。電源メーカー:TREK 681B。AMAT(VARIAN) VIISta810用。
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QCドライサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25970 QC Dryside Assy Repaur/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCドライサイド(Dry Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25970の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCウェットサイドAssyアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969 QC Wetside Assy Repair/Ovehaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCウェットサイド(Wet Side)のアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969の互換品。軽量化、防腐食性、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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QCギアボックスアップグレード付き修理/オーバーホール 0010-25969/0021-18493 QC Gear Box Repair/Overhaul with Upgrade
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洗浄装置用ブラシタンク用QCギアボックスのアップグレード付き修理/オーバーホール。P/N:0010-25969/0021-18493の互換品。ギア外れ防止、部品の部分交換、スムースな回転等の性能が実現可能。AMAT MESA用。新品販売も可能。
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ポンプI/O修理 PUMP I/O Repair ポンプI/O修理 PUMP I/O Repair
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ポンプI/O修理 PUMP I/Oの修理。P/N:2980-091285-11 (型番 HTE-PP1-Aｰ11（TAB1500)に対応。TEL ACT8用。
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アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment アルミアルマイト・アルミナ/イットリウム溶射パーツ洗浄 Anodized Aluminum・Al2O3/Y2O3 parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイトアノダイズ・アルミナ(Al2O3)/イットリウム/イットア(Y2O3)パーツの洗浄再生サービス。ドライアイス洗浄によりパーツにダメージを与えず洗浄が可能。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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アルミアルマイトパーツ再生 Anodized Aluminum parts refurbishment
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エッチング装置用のアルミ(Al)アルマイト/アノダイズパーツの再生サービス。上部/下部電極、エレクトロ―ド、トップ/ボトムプレート、静電チャック(ESC/Eチャック)、バッフル板、デポシールド等。 詳しくはこちらから
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イオンソースアップグレード Ion Source Upgrade
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のイオンソース(イオン源)を標準バーナス型からIHC(カソード)型へ改造するアップグレード。イオンソースのロングライフ化が実現可能。追加のカソード電源も準備可能。VIISion、VIISta、GSD、PI9500(PI-9500)XR/XR80等に対応。
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真空ゲートバルブ修理/オーバーホール Vacuum Valve Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ゲートバルブの修理、オーバーホール。主にVAT、HVA等に対応。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(インプラ/IMP)装置用。VATシリーズ010/02/03/04/075/10/12/14/15/16.2/61/65、SMC XGT200/300等に対応。 詳しくはこちらから
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ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment
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スパッタ(PVD)、CVD装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)およびヒーターの再生。Centura HDP、TXZ/WXZ/CXZ/DXZ、Producer(プロデューサー)、P5000(P-5000)、ENDURA5500等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にAMAT 8、12インチ(200、300mm）向け。P/N:0040-18219、0040-48594、00...
OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration OAI製UV照度計(パワーメーター)校正 UV Illuminometer (Power Meter) Calibration
¥100,000 から
¥100,000 から
米国OAI製UV照度計とプローブ(Probe)の校正サービス。Model306/308/311/316/317/356/357/358/359/457/459/656/659、全380シリーズに対応。プローブは365/400/420/436nm等。主にフォトリソグラフィー装置の光源用途。新品の販売も対応。 詳しくはこちらから
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment 静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment
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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。Centura DPS、Super-e、MXP+、TCP/Alliance 9400/9600、Exelan-Hpt、Flex、Kiyo、UNITY、8500、DRM、SCCM等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にLAM、TEL、AMAT 8、12インチ(200、300mm）向け。