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修理/再生/OH

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PCBボード修理 Board Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のPCBボードの修理。General I/O DIボード、IHCソースコントーラーPCB等に対応。ボード部品の欠品が無いこと、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:1520510 (ASSY)・1420510 REV.4 (PCB)、1522620 (ASSY)・1422620 (PCB)。Axcelis GSD用。
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HVパワーサプライ(高電圧電源)修理 HV/High Voltage Power Supply Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHV電源(ハイボルト電源)の修理。電源:OL8000/104/02(A1010070)、Stack:OL8000/104/01 (A1010080)。Glassman、Spellman、Motechホイールスピンアンプ電源 MP80(0090-91596)、MR71/PL21(0090-91124)、MH21/MH22(0090-91597)、HITEK...
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コルモーゲンモーター修理 KOLLMORGEN Motor Repair コルモーゲンモーター修理 KOLLMORGEN Motor Repair
¥800,000
¥800,000
CMP装置研磨ヘッド用コルモーゲンモーター(Kollmorgen)の修理。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:D101A-93-1215-001またはD101B-93-1210-014に対応。AMAT Reflexion用。 詳しくはこちらから
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静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment 静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Echuck/E-Chuck Refurbishment
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の再生。純正品よりも耐久性・寿命を延命したアップグレード付の再生。Varian VIISta、VIISion、E220/E500/EHP220/EHP500、AMAT Quantum用のESCに対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。E11098654/E11098653/E11144761。 詳しくはこちらから
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真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul 真空ポンプ(クライオ/ターボ/ドライ/ロータリー)修理/オーバーホール Vacuum Pump (Cryo/Turbo/Dry/Rotary) Repair/Overhaul
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半導体製造装置用真空ポンプ(クライオ、ターボ、ドライ、ロータリー等)の修理およびオーバーホール(O/H、OH)。スパッタ(PVD)、CVD、エッチング(Etching)、イオン注入(IMP)向け。Helix:CT-8/10、100/250F、OB-8/10、ULVAC:Uシリーズ、キヤノンアネルバ(Canon Anellva)CUPシリーズ、EBARA、BOC EDWARDS(エドワーズ)等...
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HYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)修理/洗浄 Probe/Particle Monitor/Sensor Repair/Cleaning HYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)修理/洗浄 Probe/Particle Monitor/Sensor Repair/Cleaning
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)の修理および洗浄。レーザーダイオード、ビームストップ、フォトダイオード(ウィンドーフォトセル)交換なども対応可。Axcelis GSD用20SX/20SXG HYTに対応。 詳しくはこちらから
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メインコントローラー(コントロール)ボックス修理/アップグレード Main Controller (Control) Box Repair/Up-grade メインコントローラー(コントロール)ボックス修理/アップグレード Main Controller (Control) Box Repair/Up-grade
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コーター(コータ)デベロッパー用のメインコントローラー(コントロール)ボックスの修理、#2(入手困難なフロッピーディスク/FD)から#3.5(USB、HDDミラーリングシステム、RAID、マスター/スレーブ機能搭載)へのアップグレード。TEL ACT8(ACT-8)用。フォトリソグラフィー。 詳しくはこちらから
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FABSローツェロボット修理 Rorze Robot Repair FABSローツェロボット修理 Rorze Robot Repair
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CMP装置用FABSロボットの修理。ローツェ(Rorze)製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。メーカー型式はRR700L150-Z30-010。エクスチェンジ機、フルオーバーホールの検討も可能。
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ウェットロボット修理 Wet Robot Repair ウェットロボット修理 Wet Robot Repair
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CMP装置用ウェットロボットの修理。モーター、リードスクリュー、リボンケーブル、PCB、バキュームトランスデューサーの部品交換も可能。修理後のロボットはMirraテスト機でのロボット軸フォーミング及び初期化を実施。P/N:0010-77676。
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ISRMモジュール修理 ISRM Module Repair ISRMモジュール修理 ISRM Module Repair
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CMP装置用ISRMモジュールの修理。CMPのエンドポイントをセンシングするレーザーモジュールの修理。デジタルISRMとフルスキャンISRMアッシーの修理が可能。水没、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:0010-04514/0010-05004/0010-77057/0010-07620/0010-07729/0010-05002/0010-77264/0010-37866。AMAT M...
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CPUボード修理 CPU Board Repair CPUボード修理 CPU Board Repair
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CMP装置のCPUボードの修理。MEI、FABS CPU、AIO/DIO、ペンティアム(Pentium)、ロワーエレクトリックボード等に対応。ボード部品の欠品が無いこと、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:0190-14502/0660-01705/0660-00123(MEI)、0660-01705/0100-76124、0660-01805/0660-01847/0660-00032/...
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プラテン修理/再生 Platen Repair/Refurbish プラテン修理/再生 Platen Repair/Refurbish
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CMP装置用プラテンの修理。表面の研磨・平坦化、エラストマーの再コート(黒テフロン又は純正グレー:Everslick)、ヘリサート再挿入、ネジ穴修理等。P/N:0040-77041/C、0010-77073等に対応。AMAT Mirra 6、8インチ(150mm、200mm)用。
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ヘッドスウィープモーターAssy修理 Head Sweep Motor Repair ヘッドスウィープモーターAssy修理 Head Sweep Motor Repair
¥450,000
¥450,000
CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの修理。純正品に見られるケーブル切れの問題を改善したアップグレード付修理。P/N:0010-77217、0010-03697。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。 詳しくはこちらから 【修理内容】 Headsweep is fully inspected upon receipt A2 and A3 assemblies are mo...
HCLUロードカップ修理/再生/オーバーホール HCLU Load Cup Overhaul HCLUロードカップ修理/再生/オーバーホール HCLU Load Cup Overhaul
¥80,000 から
¥80,000 から
CMP装置用HCLUロードカップの修理/再生/オーバーホール。洗浄、コート剥離、センターシャフト他主要パーツ交換込みのフルOH。ブラックスティックコーティングはスラリー固着の防止効果あり。P/N:0240-31390、0010-77157。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。オプションでセンタリングジョー(P/N:0020-78932)、デルリンフォーク交換も実施。 詳しくはこち...
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スラリーモーター(チューブポンプ)修理/再生/オーバーホール Slurry Motor (Tube Pump) Repair/Refurbish/Overhaul スラリーモーター(チューブポンプ)修理/再生/オーバーホール Slurry Motor (Tube Pump) Repair/Refurbish/Overhaul
¥50,000
¥50,000
CMP装置用スラリーモーター(チューブポンプ)の修理。ドライアイス洗浄での内部清掃(クリーニング)とカーボンブラシ、ベアリング交換を含んだオーバーホール。P/N:0090-77057/0090-77135または900-1174等。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから
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プラテンモーターサーボバック(ドライバー)修理 Platen Motor Servo Pack (Driver) Repair
¥560,000
¥560,000
CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。 詳しくはこちらから
プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish プラテンモーター＋ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish
¥700,000 から
¥700,000 から
CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...
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クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシー修理 Cross Pedestal (Harmonic Drive) Assy Repair クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシー修理 Cross Pedestal (Harmonic Drive) Assy Repair
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CMP装置用クロスペデスタル(ハーモニックドライブ)アッシーの修理。標準修理または新品ハーモニックギア交換込みの修理サービス。P/N:0010-26153(旧:0010-77141)。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
NSKメガトルクモーター＋ドライバー修理/再生 NSK Megatorque Motor & Driver Repair/Refurbish/Overhaul NSKメガトルクモーター＋ドライバー修理/再生 NSK Megatorque Motor & Driver Repair/Refurbish/Overhaul
¥190,000 から
¥190,000 から
CMP装置研磨ヘッド用メガトルクモーターとドライバー/コントローラーの修理/再生。主にNSK製品に対応。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:RZ0810FN507/RS0810FN544、ドライバーP/N:EP0810AF3-05/EP0810AF5-05/EP0810AF8-05、0190-14344に対応。AMAT Mirra用。 詳しくはこちらから
ロータリーユニオン修理/再生/オーバーホール Rotary Union Repair/Refurbish/Overhaul ロータリーユニオン修理/再生/オーバーホール Rotary Union Repair/Refurbish/Overhaul
¥350,000 から
¥350,000 から
CMP装置研磨ヘッド用ロータリーユニオンの修理/再生/オーバーホール。主にDublin製品に対応。3/4/6/8ポート(ゾーン)に対応。バック回収、パーツ交換、再組立、テスト。主に0190-17925/0760-01020/0760-01034/0760-01037/0190-12122/0190-34105用。AMAT Mirra用。 詳しくはこちらから
スピンドルシャフト修理 Spindle shaft Repair スピンドルシャフト修理 Spindle shaft Repair
¥850,000 から
¥850,000 から
CMP装置用スピンドルシャフトの修理。標準修理(洗浄＋スプラッシュガードのパウダーコート＋ベアリング4交換)と、新品スピンドルシャフト交換込みのサービス。P/N:0021-79724、0010-77307の互換品。AMAT Reflexion向け。
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ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair ウェハ/ブラシローラーアッシー修理 Wafer/Brush Roller Assy Repair
¥500,000
¥500,000
CMP洗浄装置用ブラシタンク用パーツのウェハ/ウェーハ/ウェハー・ブラシローラーアッシーの修理/オーバーホール。純正P/N:0021-13858/0010-23807などの互換部品。CMP洗浄装置MESA用。 詳しくはこちらから