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CMP装置用ISRMモジュールの修理。CMPのエンドポイントをセンシングするレーザーモジュールの修理。デジタルISRMとフルスキャンISRMアッシーの修理が可能。水没、焼跡が無いことが前提での修理。P/N:0010-04514/0010-05004/0010-77057/0010-07620/0010-07729/0010-05002/0010-77264/0010-37866。AMAT Mirra用。
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