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イオン注入(インプラ/IMP)装置用のHYTプローブ/パーティクルモニター/センサー(センサ)の修理および洗浄。レーザーダイオード、ビームストップ、フォトダイオード(ウィンドーフォトセル)交換なども対応可。Axcelis GSD用20SX/20SXG HYTに対応。
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