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MKS UPAコントローラー(4ポート用)修理 MKS UPA Controller 4-port

MKS UPAコントローラー(4ポート用)修理 MKS UPA Controller 4-port

協同インターナショナル
ASK
CMP装置用MKS製UPAコントローラー(4ポートタイプ）の修理。MKS製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。P/N：0190-15840/0190-24857/0190-25647/0190-25733等に対応。

【修理内容】
1. 分解前のコントローラーのテスト
2. 圧力・真空流量の校正
3. コントローラーのテスト
4. UPAコントローラーボード交換
5. 6psi UPAスティック・コネクター交換

リードタイム：受注後約5～6週間
保証：納入後3ケ月

※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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