装置部品

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CVD装置用キャパシターバンクの販売。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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PLCアッシーバランスサイドコイルレトロフィットゲンラック PLC Assy, Balance Side Coil Retrofit Gen Rack

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CVD装置用PLCアッシーバランスサイドコイルレトロフィットゲンラックの販売。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0010-06714の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CVD装置用コイルアッシーの販売。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0040-40929の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CVD装置用サイドマッチボックスの販売。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0240-07926の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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Ultima PLUSチャンバーカバー Ultima PLUS Chamber cover

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CVD装置用チャンパーカバーの販売。AMAT(Applied Materials) Centura Ultima用。P/N:0040-40854の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CVD装置用RPSスタンドオフ1の販売。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CVD装置用RPSスタンドオフ2の販売。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。日立(HITACHI)。P/N:2-821454-*Dの互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

12インチ静電チャック(ESC/Eチャック) 12INCH ESC/ECHUCK

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。12インチ(300mm)用。TEL。P/N:の2L10-150079-13(ES2L10-150079-13), 2L10-151982-11(ES2L10-151982-11)の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。TEL。P/N:1D85-006979-12(1D10-101692-13), 21D10-101956-12, 21D10-101965-12(1D85-009005-13), 1D85-010782-13(1810-121880-11)の互換品。※写真は...

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。12インチ(300mm)用。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-839-800328-300, 839-800327-315, 839-019090-324, 839-019090-374, 839-800327-385, 839-800327-432, 839...

12インチシリコン(Si)電極/エレクトロ―ド 12INCH SILICON ELECTRODE

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エッチング(ETCHING)装置用12インチ(300mm)⽤シリコン(Si)電極/上部電極/エレクトロ―ド/カソードの販売(新品または再生/リファーブ品)。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-044157-431の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-019090-225, 839-800327-226, 839-800327-246, 839-440462-518の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。6インチ(150mm)用。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-440562-306の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

6インチシリコン(Si)電極/エレクトロ―ド 6INCH SILICON ELECTRODE

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エッチング(ETCHING)装置用6インチ(150mm)⽤シリコン(Si)電極/上部電極/エレクトロ―ド/カソードの販売(新品または再生/リファーブ品)。LAM RESEARCH(ラムリサーチ)。P/N:839-011906-001, 839-440562-306の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(再生/リファーブ品)。12インチ(300mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0040-48594の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)の販売(新品または再生/リファーブ品)。8インチ(200mm)用。AMAT(Applied Materials)。P/N:0195-07766, 0195-07958, 0195-07994, 0010-15452, 0040-18053, 0040-18208, 0040-18219の互換品。※写真は代表的なものを載せて...

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CMP装置用ハウジングアッセンブリーの販売。Profiler IE HEAD用部品。P/N:0040-49305の互換品。AMAT Reflexion用。12インチ/300mm用。

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HYDE PARK超音波センサー置き換え用コントローラー付超音波センサー Ultrasonic Sensor with Controller for Direct Replacement of HYDE PARK Ultrasonic Sensor

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CMP装置用ウェハ検知超音波センサー（コントローラー付）の販売。P/N:SM3-50A-448-00FAの互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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エッチング(Etching)装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)。12インチ(300mm)用。P/N:839-800327-390の互換品。LAM/Flex 45用。

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パッドコンディショナーカップ DIウォータースプレーレトロフィット PAD CONDITIONER CUP DIW SPRAY RETROFIT

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CMP装置用パッドコンディショナーのクリーンカップポジションに連続でDIウォータースプレーを噴射させるアップグレードパーツ。DDの洗浄を改善し、ディフェクト発生率の低減が可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。この商品は装置1台につき1個使い、サービスマンによる現地インストレーション作業が必要になります。

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UPAアップグレード圧力トランスデューサー UPA Up-Grade Pressure Transducer

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CMP装置用UPA圧力(プレッシャー)トランスデューサーのアップグレードモデル。全てのヘッドゾーン圧力(RR, IT. PP, EC, UC)に使用可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。【特徴】1. 圧力トランスデューサーと圧力インジケーターを組み合わせて、レギュレーターからの出力圧力を簡単に確認し、Mirraサービス画面の値と比較します。トラブルシューティングが簡単。2....

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CMP装置用PMリダクションキット(アップグレードモデル)の販売。インタープラテンクリーン、スプラッシュガード(Long, Short)、スラリーアームベースホルダーによる構成。スラリー残留物が残りにくい設計。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。

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洗浄装置用SRD ウィールAssy SRD Wheelの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。