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ヒーター・静電チャック(ESC/Eチャック)再生 Heater, Echuck/E-Chuck Refurbishment
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スパッタ(PVD)、CVD装置用の静電チャック(ESC/Eチャック)およびヒーターの再生。Centura HDP、TXZ/WXZ/CXZ/DXZ、Producer(プロデューサー)、P5000(P-5000)、ENDURA5500等に対応。ダメージの状況に応じて再生内容を選択可能。主にAMAT 8、12インチ(200、300mm)向け。P/N:0040-18219、0040-48594、00...
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ビスマス_ターゲット_φ101.6×t 5
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■品名Description:Bi 4N φ101.6×t 5
■仕様Specification:
・材質Material:Bi
・純度Purity:99.99%
・サイズSize:φ101.6xt5
・その他Other:ボンディング含まず
■納期Delivery:約2ヵ月(応相談)
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ビスマス_ターゲット_φ152.4×t 5
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■品名Description:Bi 4N φ152.4×t 5
■仕様Specification:
・材質Material:Bi
・純度Purity:99.99%
・サイズSize:φ152.4xt5
・その他Other:ボンディング含まず
■納期Delivery:約2ヵ月(応相談)
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フィードスルー FEEDTHRU,3/8O-SEAL
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CVD装置用フィードスルー 3/8Oシールの販売。AMAT(Applied Materials)/Novellus(ノべラス) Concept-One/1(コンセプトワン)又はTwo/2用。P/N:15-00685-00の互換品。材質:材質:アルミ(A6061)。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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フィードスルーナット NUT,FEEDTHRU
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CVD装置用フィードスルーナットの販売。AMAT(Applied Materials)/Novellus(ノべラス) Concept-One/1(コンセプトワン)又はTwo/2用。P/N:15-00229-00の互換品。材質:材質:アルミ(A6061)。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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フェースプレート 8インチ用 Face Plate 8inch
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CVD装置用フェースプレート 8インチ(200mm)用の販売。AMAT(Applied Materials) Centura TXZ用。P/N:0040-52541の互換品。
•Hole Size: .016 +/-.005•Number of Gas Holes: 2129•Material: Alcoa 6061•Outside Diameter: 12.080 + .005 -000•...
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フラットクランプ Clamp Flat
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CVD装置用フラットクランプの販売。AMAT(Applied Materials)/Novellus(ノべラス) Concept-One/1(コンセプトワン)又はTwo/2用。P/N:15-00729-00の互換品。材質:材質:アルミ(A6061)。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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フランジキー FLANGE KEYED
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CVD装置用フランジキーの販売。AMAT(Applied Materials)/Novellus(ノべラス) Concept-One/1(コンセプトワン)又はTwo/2用。P/N:15-032631-00Mの互換品。材質:材質:アルミ(A5056)。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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フレクサー Flexure 0040-77343
定価
¥40,000
販売価格
¥40,000
定価
単価
/対して
フレクサー Flexure。P/N:0040-77343の互換品。AMAT(Applied Materials)CMP装置 Mirra(MIRRA、ミラ)用。研磨ヘッド(Polishing Head)用パーツ。3個1ロットで販売。SUS製。当社P/N:SA18-0085-00。
※最小販売ロット数3個
詳しくはこちらから
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フープ/FOSBオープナー FOUP/FOSB openers
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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ブルーエクステンダー基本セット BlueXtender Basic Set
定価
¥298,000
販売価格
¥298,000
定価
単価
/対して
多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるIoTエッジデバイスとゲートウェイの販売。異なるメーカー製センサーを組み合わせてのセンシングが可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。
詳しくはこちらから
【セット構成】
・NSX7000(1)・ロッ...
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ブルーエクステンダー追加エッジデバイス BlueXtender Additional Edge Device
定価
¥42,500
販売価格
¥42,500
定価
単価
/対して
多種多様なBLE(Bluetooth Low Energy)センサーデータをサブギガ通信で延伸し、クラウド上で見える化できるIoTエッジデバイス単品の販売。異なるメーカー製センサーを組み合わせてのセンシングが可能。温度、湿度、照度、加速度、磁気、中心・放射温度計、CO2、気圧、UV(紫外線)、騒音、電流は連携実績済。
詳しくはこちらから
【セット構成】
・BlueXtenderEdge(1)...
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プラテン(静電チャック/ESC/Eチャック)再生/修理 Platen(ESC/ECHUCK) Refurbishment/Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置のプラテン/静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:E11144768/E11488220/E11488221/E11488222/E11697890/E11583293/E11636460/E11368067/E11368060/E11368073/E11559321/E11636280等に対応。AMAT(Applied Materi...
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プラテンベアリング Platen Bearing 250MM I.D. X 330MM O.D.
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CMP装置用プラテンベアリングの販売。AMAT(Applied Materials) Mirra TITAN-1ヘッド用。200mm(8インチ用)。P/N:0190-77381の互換品。
※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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プラテンモーターサーボバック(ドライバー)修理 Platen Motor Servo Pack (Driver) Repair
定価
¥560,000
販売価格
¥560,000
定価
単価
/対して
CMP装置用プラテンモーターサーボパック(ドライバー)の修理。サーボバックは安川電気(Yaskawa)P/N:SGDB-44ADG。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6ABの修理も可能。ギアボックスの修理の可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
詳しくはこちらから
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プラテンモータープーリー & ブッシングAssy Platen Motor Pulley and Bushing
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CMP装置用プラテンモータープーリー・ブッシングAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
プラテンモーター+ギアボックス修理/再生 Platen Motor & Gear Box Repair/Refurbish
定価
¥700,000 から
販売価格
¥700,000 から
定価
単価
/対して
CMP装置用プラテンモーターとギアボックスの修理。プラテンモーターは安川電機(Yaskawa)P/N:1080-01170またはSGMS-50A6AB、ギアボックスはアルファ(Alpha)P/N:3970-01013または140-MFI-10-141-000、ストーバー(Stober)、安川(Yaskawa)製に対応。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。ギアボックスはオリジナルの...
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プラテン修理/再生 Platen Repair/Refurbish
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CMP装置用プラテンの修理。表面の研磨・平坦化、エラストマーの再コート(黒テフロン又は純正グレー:Everslick)、ヘリサート再挿入、ネジ穴修理等。P/N:0040-77041/C、0010-77073等に対応。AMAT Mirra 6、8インチ(150mm、200mm)用。
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プレートレベリングヒーターリフト Plate, Leveling, Heater Lift
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CVD装置用プレートレベリングヒーターリフトの販売。AMAT(Applied Materials) Centura DXZ用。P/N:0020-33346の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ヘッドスウィープモーターAssy Head Sweep Motor
定価
¥1,050,000
販売価格
¥1,050,000
定価
単価
/対して
CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0010-03697の互換品。AMAT Mirra用。8インチ/200mm用。
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ヘッドスウィープモーターAssy修理 Head Sweep Motor Repair
定価
¥450,000
販売価格
¥450,000
定価
単価
/対して
CMP装置用ヘッドスウィープモーターAssyの修理。純正品に見られるケーブル切れの問題を改善したアップグレード付修理。P/N:0010-77217、0010-03697。AMAT Mirra 8インチ(200mm)用。
詳しくはこちらから
【修理内容】
Headsweep is fully inspected upon receipt
A2 and A3 assemblies are mo...
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ホイールスピンアンプ Wheel Spin Amp
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの販売。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ホイールスピンアンプ修理 Wheel Spin Amp Repair
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イオン注入(インプラ/IMP)装置用ホイールスピンアンプの修理。AMAT(Applied Materials) 9500/XR/XR80用。P/N:0090-91124の互換品。アンプ(電源)メーカー:MOTECH。MR71※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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ホースポンプ Hose Pump
定価
¥870,000
販売価格
¥870,000
定価
単価
/対して
ホースポンプ。デスクトップ型めっき(メッキ)システム(装置)用オプション部品(パーツ)。基板裏面への周り込み無く成膜できるのが特徴。省スペースでリーズナブルコスト。
詳しくはこちらから
品名
型番
用途
Hose Pump
HP
application: filling, through-flow and draining of the unit. seals up to 99 °
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