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CVD装置用ボトムプレート6インチ用(Ce)の販売。AMAT(Applied Materials)/Novellus(ノべラス) Concept-One/1(コンセプトワン)又はTwo/2用。P/N:15-305097-00の互換品。材質：Al2O3(アルミナ)。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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ポンプI/O修理 PUMP I/Oの修理。P/N:2980-091285-11 (型番 HTE-PP1-Aｰ11（TAB1500)に対応。TEL ACT8用。

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¥1

シリコン/Silicon/Si、ガラス、SiC、GaAs、InP、GaN等のウェハ、チップ/小基板を搬送するための真空ピンセット。バッテリー(電池)駆動でポータブル。静電気防止PEEKチップ、高温処理用のポリイミドチップ、超クリーン仕様など複数のラインアップ。 Cordless portable vacuum wand (WHS-V6) l ウェハ処理用のコードレスバッテリー駆...

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PVD(スパッタリング)装置用マグネットAssyの販売。AMAT(Applied Materials) ENDURA用。P/N:0010-20224の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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マニフォールドアッシー, アッパー200MMタイタンヘッド Manifold Assy, Upper 200MM Titan Head

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CMP装置用マニフォールドアッシー, アッパー200MMタイタンヘッドの販売。AMAT(Applied Materials) Mirra TITAN-1ヘッド用。200mm(8インチ用）。P/N:0010-10828の互換品。 ※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。 WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...

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マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener

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マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener

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カセットtoカセットでウェハを移送させるウェハトランスファー。速度、精度、安全性を維持しながらウェハの移送が可能。SEMIスタンダードの搬送/出荷カセットと互換性あり。メンテナンスの手間を減らした設計。多様なニーズを満たすために4つの基本モデルを提供しています。レガシースタイルのスライドトランスファーには、手動のエコノミーバージョンのWHS-T3と、より正確な制御のための高度な自動...

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マニュアルウェハフラットアライナー (WHS-A2) Manual wafer flat aligner

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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 WHS-A2 シリーズは、76 mm (3インチ) から 150 mm (6インチ) までのウェハの上部と下部のバルクアライメント用に設計された手動ウェハフラットアライナーです。InP、GaAs、GaN、SiC などの複合ウェハ...

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ウェハの向きを揃えるアライナー/アライメントツール。ノッチ、オリフラに対応。ウェハが装置に正常に搬送されているか、エッジに欠陥がないか等を確認することが可能。 Manual notch aligner (WHS-A4) l 接地されたウェハとカセットの経路を備えた帯電防止構造 l 200mmウェハ用の上部と下部のノッチアライメント l ウェハを優しく取り扱うためのバネ式ノッチキャッ...

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メインコントローラー(コントロール)ボックス修理/アップグレード Main Controller (Control) Box Repair/Up-grade

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コーター(コータ)デベロッパー用のメインコントローラー(コントロール)ボックスの修理、#2(入手困難なフロッピーディスク/FD)から#3.5(USB、HDDミラーリングシステム、RAID、マスター/スレーブ機能搭載)へのアップグレード。TEL ACT8(ACT-8)用。フォトリソグラフィー。詳しくはこちらから

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ウェハをグリップさせてハンドリングさせるための便利ツール（ウェハグリッパー）。4つもモデルがあり用途に応じた使い分けが可能です。・G1およびG2モデル：エッジグリップハンドリング用。光学基板、MEMS基板、ダブルトポグラフィー基板、その他の高感度基板などの繊細なウェハを安定して均一にグリップします。・G3モデル：独自の3グリッパー設計を採用。化学環境における個々のウェハハンドリングに適し...

¥100,000

洗浄装置用メガアイドラー(Mega Idler)。純正P/N:0010-77582/0010-17014等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

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洗浄装置用メガソニックHalarタンクの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

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洗浄装置用メガソニックタンクベースの販売。AMAT Mesa用。8インチ/200mm、12インチ/300mm用。

¥220,000

洗浄装置用メガローラー(Mega Roller)。純正P/N:0040-43238/0040-87416/0040-87418等の互換品。形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。AMAT MESA用のラインアップ。

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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。 WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）...

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¥42,000

~~¥33,000~~

■品名Description：Mo 3N φ10×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Mo ・純度Purity:99.9%up ・サイズSize:φ10x5t ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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¥44,000

~~¥35,000~~

■品名Description：Mo 3N φ15×t 5 ■仕様Specification: ・材質Material:Mo ・純度Purity:99.9%up ・サイズSize:φ15x5t ■納期Delivery:約2ヵ月（応相談）　　

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モーメンタム776 MPシリンダーAssy Momentum 776 MP Cylinder

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CMP装置用MPシリンダーAssyの販売。標準修理または特殊部品交換による修理サービスも対応可能。P/N:0750-111515の互換品。IPEC776用。8インチ/200mm用。

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CVD装置用ライトアングルガスラインの販売。AMAT(Applied Materials) Centura用。P/N:0050-44411の互換品。※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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CRTモニターに使用されているライトペン。AMAT CVD/スパッタ(PVD)/イオン注入(IMP)/Centura/Endura/Producer/P5000/PI9500や、Therma-Wave社膜厚測定器(OPシリーズ）などで実績があり。詳しくはこちらから

¥80,000

SPIN150xのリッド（蓋）とボウル/チャンバー部に装着する汚れ防止カバー。1パック20セット入り。ライナーを使用することでリッド（蓋）とボウル/チャンバー部の洗浄工程を省くことができます。・両面に均一な優れた帯電防止特性を持つ非晶質ポリエステル製のコスト効率の高い透明ハードホイル・スピンプロセス終了後、SPIN150xのリッド（蓋）とボウルセットを交換、または簡易洗浄で再利用でき...