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MKS UPAコントローラー(4ポート用)修理 MKS UPA Controller 4-port
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CMP装置用MKS製UPAコントローラー(4ポートタイプ)の修理。MKS製。修理後のロボットは専用のテスト機での動作確認を実施。P/N:0190-15840/0190-24854/0190-24857/0190-25647/0190-25733/0190-38324/0190-11803等に対応。
【修理内容】
1. 分解前のコントローラーのテスト
2. 圧力・真空流量の校正
3. コ...
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MKS UPA修理 MKS UPA Repair
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CMP装置用MKS製UPAの修理。MKS製。修理後のコントローラーは専用のテスト機での動作確認を実施。P/N:0190-15378Rに対応。
※クリアベースとコントロールボードの修理は含まれません。
-ベースにクラックがある場合は修理不可
-コントロールボードのメインCPUに結果がある場合は修理不可
リードタイム:受注後約5~6週間
保証:納入後3ケ月
※写真は代表的なものを載せて...
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Model 200 マニュアル式片面テーブルトップマスクアライナー R&D用
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。デスク/テーブルトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。OAI製。
詳しくはこちらから
モデル
200
基板 対応サイズ
8インチ角 まで
マスク 対応サイズ
9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±10mmZ 動作 : 1500...
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Model 2000 エッジビード露光システム 量産用向け
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。中量産向け。フラッド露光/エッジビード露光が可能。シャドウマスク技術が必要なエッジビード除去工程向け。OAI製。
詳しくはこちらから
モデル
2000
基板 対応サイズ
12インチ径まで
マスク 対応サイズ
-
アライメント ステージコントロール
-
アライメント 精度
-
露光 ...
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Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用
ASK
片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。ベンチトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。最大12インチまでの中型基板用。OAI製。
詳しくはこちらから
モデル
212
基板 対応サイズ
12インチ角まで
マスク 対応サイズ
14インチ角まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±10mm...
Model 308/308T UV照度計 Model 308/308T Light Meter
定価
¥320,000 から
販売価格
¥320,000 から
定価
単価
/対して
ハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。
【Model 308】
Relative Accuracy:275-2000 mw/cm2 range: ±(.042% of reading +.4...
Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter
定価
¥220,000 から
販売価格
¥220,000 から
定価
単価
/対して
UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。
※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
Model 308照度計用専用プローブ 220-540nm Probes for Model 308 UV Light Meter
定価
¥200,000 から
販売価格
¥200,000 から
定価
単価
/対して
UV照度計(パワーメーター/Power Meter)モデル308用専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)。OAI社製で旧型モデル306の後継機種。校正サービスも提供可。フォトリソグラフィー(露光)装置向け。
※w/Handle、および、高温仕様(High Temp)用のプローブは別価格となります。
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Model 32 UV LED光源
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UV LED光源(ライトソース/Light source)。フォトリソグラフィー/露光/Photolithography用途向けにコリメートされた光源。OAI製。半導体、MEMS、研究開発(R&D)、少量産、中量産向け。
ビーム サイズ 4 ~ 12 インチ sg
波長 365um、405um またはデュアル波長
デュアル波長チューニングが可能
+/- 4% より優れたビーム均一性...
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Model 6000 全自動量産マスクアライナー 量産用
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学裏面露光式。全自動/フルオート式。半導体、MEMS、研究開発(R&D)向け。中量産向け。オールコンピューター制御、スループットは1時間に180ウェハが可能。OAI製。
詳しくはこちらから
モデル
6000
基板 対応サイズ
50mm~200mmウェハ/角 もしくは200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm...
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