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Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー 量産用
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片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。液晶/FPD/LCD/フラットパネルディスプレイ、中量産向け。大型基板(最大20″×20″まで)。オールコンピューター制御。OAI製。
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モデル
6020
基板 対応サイズ
12インチ角 – 20インチ角まで
マスク 対応サイズ
14インチ角 – 24インチ角まで
アライ...
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Model 659 UVエネルギーアナライザー
定価
¥2,500,000
販売価格
¥2,500,000
定価
単価
/対して
タッチスクリーン式、USB内蔵のハンディタイプのUV照度計(パワーメーター/Power Meter)。OAI社製で旧型モデル358の後継機種。校正サービスも提供可。専用プローブ(365nm、400nm、420nm、436nm等)も販売。
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model
対応波長帯域
強度レンジ
Model659
365nm – 436nm
~7,500mW/cm2
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Model 800E: セミオート両面マスクアライナー R&D/少量産
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両面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。トップ面またはボトム面のアライメントが可能。半自動/セミオート式。研究開発(R&D)向け。少量産向け。OAI製。
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モデル
800E
基板 対応サイズ
8インチ角 まで
マスク 対応サイズ
9インチ角 まで
アライメント ステージコントロール
XY 動作 : ±5mm回転 : ±4°
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