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M1020 2PH Motor Repair kit (N) CM010HK30
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (N)
・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM010HK30
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M1020 2PH Motor Repair kit (O) CM010HK20
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・品名:M1020 2PH Motor Repair kit (O)
・Description:Cryo Torr-10、10FクライオポンプまたはOn Board-10、10Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM010HK20
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M1スタイル メタルカセットハンドル M1 style Metal cassette handles
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・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)と13スロット(薄型ウェハ用)の2種類(アルミ/Al製)があります。形状は業界標準のプラスチック製カセットと一致していて、自動化システムや搬送システムへのシームレスな統合を可能にします。
・WHS-M2(250℃)は、PTFEテフロン製ウェハストッパーを備えた従来型のアルミ/Al製カセットで、旧式のCVDプロセスツールの置き換...
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M2スタイル メタルカセットハンドル M2 style Metal cassette handles
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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M350 2PH Motor Repair Kit CM008HK20
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・品名:M350 2PH Motor Repair Kit
・Description:Cryo Torr-8、8F、250FクライオポンプまたはOn Board-8、8F、250Fクライオポンプ用。
・純正P/N:CM008HK20
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M3スタイル メタルカセットハンドル M3 style Metal cassette handles
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・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)と13スロット(薄型ウェハ用)の2種類(アルミ/Al製)があります。形状は業界標準のプラスチック製カセットと一致していて、自動化システムや搬送システムへのシームレスな統合を可能にします。
・WHS-M2(250℃)は、PTFEテフロン製ウェハストッパーを備えた従来型のアルミ/Al製カセットで、旧式のCVDプロセスツールの置き換...
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