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processing equipment
118 products
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ウェハ5枚用プレゼンター 5-wafer presenter
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クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。
ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニー...
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ウェハエスカレーター Wafer Escalators
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WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。
l 独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止
l 読み取りを容易にしたウェハスロット構造(前のスロッ...
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水平マスクピック Horizontal mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。
WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。
WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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サイドマスクピック Side mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。
WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。
WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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EUVマスクピック EUV mask pick
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フォトマスク、レチクルを主導でピックアップし、ハンドリング・搬送するための専用ツール。用途に応じて3種類のモデルを準備しています。
WHS-L1は、同期グリッパーを備えた密閉型ギアボックスを搭載し、フォトマスクとレチクルを側面の接線方向から精密にハンドリングします。これは、精度と最小限の接触が不可欠なシナリオに最適です。
WHS-L2は水平オフセット用途向けに設計されており、WHS-L1...
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セミオートマチックSMIFポッドオープナー Semi-Automatic SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルSMIFポッドオープナー Manual SMIF Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP200ポッドオープナー Semi-Automatic RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルRSP200ポッドオープナー Manual RSP200 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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セミオートマチックRSP150オープナー Semi-Automatic RSP150 Pod Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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マニュアルRSP150オープナー Manual RSP150 Opener
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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フープ/FOSBオープナー FOUP/FOSB openers
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クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。
WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。
これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニ...
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交換カセット Replacement cassettes
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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M2スタイル メタルカセットハンドル M2 style Metal cassette handles
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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12インチ専用アルミメタルプロセスカセット Aluminum metal process cassette 300 mm
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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ステンレススチールカセット Stainless steel cassette
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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レガシーカセット アルミコート トップスリーブタイプ Legacy cassette, aluminum (coated) top opened
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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レガシーカセット アルミコート 天板タイプ Legacy cassette, aluminum (coated) top closed
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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8インチアルミハードアノダイズカセット 25スロット 8" (200 mm) Aluminum hard clear anodized cassette 25 slot
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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6インチアルミハードクリアアノダイズカセット 6" (150 mm) Aluminum hard clear anodized cassette 25 slot
ASK
高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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4インチアルミハードクリアアノダイズカセット 4" (100 mm) Aluminum hard clear anodized cassette 25 slot
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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3インチアルミハードクリアアノダイズカセット 3" (76 mm) Aluminum hard clear anodized cassette 25 slot
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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3インチアルミ無電解ニッケルカセット 3" (76 mm) Aluminum electroless nickel cassette 25 slot
ASK
高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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アルミハードクリアアノダイズカセット BIピッチ 13スロット薄型ウェハ用 Aluminum hard clear anodized cassette BI-PITCH 13 slot Handle Flat slot-/thick wafer
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高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。
WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。
・主力製品であるWHS-M1(350℃)には、25スロット(標準)...
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