POLOS Spin200x デスクトップ POLOS Spin200x【予約品】

1台でレジスト塗布(コート)、エッチング、洗浄、乾燥が可能な多目的/マルチスピンプロセッサー(スピンコーター/スピンナー/スピナー)Polosの200mm(8インチ基板用)以下の基板対応機。チャック/アダプター使用で小片/チップの処理も可能。NPP(ポリプロピレン)、PTFE(テフロン)から選択可。

※※受注生産品になります。納期は別途ご確認お願いします。

【使用可能基板サイズ】

• 最大 φ8インチ(200 mm)ウェハ形状
• 最大 □6インチ(150 mm)の基板（角基板）

【仕様：ハードウェア】

• 液体フィルタートラップ
• ユニークなアウターシェル、ドレイン設計が切り替え可能、フィールド内のテーブルトップおよびインデッキモデル
• シリンジまたはディスペンスノズル用のセンターインジェクションホルダー
• ユーザーの安全のための蓋ロックと真空センサー
• 大型（取り外し可能な）タッチスクリーンディスプレイ
• レシピを USB ドライブに保存したり、ソフトウェアを保存したりするためのUSBポートアップデート

【仕様：ドライブユニット】

• 間接ブラシレスドライブユニット
• 最大12,000 RPM (基板/チャックに応じて)
• 高い加速と精度
• 加速/減速 1 ～30.000 RPM
• CW、CCW 回転および水たまりオプション