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日東工器社製真空ポンプ。P/N:VP0940。チャッククリーニングウェハ(CCW)再生時に使用する真空台用の専用ポンプ。真空到達圧:-53.3kPa、吐出空気量:60L/min。付属品：φ6エアーチューブ(2m)、エアーON/OFFハンドバルブ、サイレンサー付き。
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