チャッククリーニングウェハ(CCW) 5インチ Chuck Cleaning Wafer 5 inch

真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。

RNC-15B-0021F(CCW-7021-01-150-FL), RNC-15B-0021FG4(CCW-7021-01-150CS), RNC-15B-0021FG4(CCW-7021-01-150-FL-CS)

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※5インチ用CCWは、予備も含めてSiウェハをご支給いただくことを前提とさせていただきます。