WHS-P2マニュアルエスカレーターは、独自の階段状機構によりカセット内の各ウェハを段階的に上昇させ、ウェハIDとロット番号の確認を容易にします。このツールは、カセット内のすべてのウェハを、過度なハンドリングなしに明瞭に確認する必要があるオペレーターに最適です。

l  独自のダブルアングルリフトコーム設計により、エッジの欠けを防止

l  読み取りを容易にしたウェハスロット構造（前のスロットよりも5mm高い設計）

l  低摩耗性材料を使用

l  ウェハ接地パスを備えた帯電防止構造

l  人間工学に基づいた25°角度設計

Manual wafer escalator (WHS-P2) 100 mm (4”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P2-401

Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number when ordering ***

Material：Lift comb material: antistatic POM

Size：100 mm (4”)

System：Manual system

Slots：25

Frame material：Natural PP

Cleanroom designation：ISO 4

Manual wafer escalator (WHS-P2) 150 mm (6”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P2-601

Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number when ordering ***

Material：Lift comb material: antistatic POM

Size：150 mm (6”)

System：Manual system

Slots：25

Frame material：Natural PP

Cleanroom designation：ISO 4

Manual wafer escalator (WHS-P2) 200 mm (8”)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-P2-801

Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number when ordering ***

Material：Lift comb material: antistatic POM

Size：200 mm (8”)

System：Manual system

Slots：25

Frame material：Natural PP

Cleanroom designation：ISO 4