膜付きウェハ（カスタマイズ）

膜付きウェハをご希望の仕様に合わせて作製します。

弊社準備のSiウェハ（φ2～φ12インチ等）への成膜、ご支給基板への成膜のいずれのケースにも対応します。

【特徴】

• 小片～φ300mmサイズの基板まで、枚数 1枚から対応
• 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) への成膜が可能　

• 保有材料＝約120種類！（金属、合金、酸化物、窒化物 etc.）

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• 3層まで同一真空チャンバー内で成膜可能
  

  弊社スパッタ成膜加工の詳細はこちら

• 納期：約2～3週間（数量, タイミングにより前後します）

下記フォームから製作仕様を入力いただきお問い合わせください。