膜付きウェハ（カスタマイズ）

膜付きウェハ（基板）をご希望の仕様に合わせて作製します。

弊社準備のSiウェハ（φ2～φ12インチ等）への成膜、お客様ご支給基板への成膜のいずれのケースにも対応します。

下の「膜付きウェハ_見積依頼書」から製作希望の仕様をご入力ください。

製作の可否も含め、一両日中に御見積回答します。

【特徴】

• 自社保有のスパッタリング装置による成膜加工

• 特殊な基板(小口径、角型、立体、フイルム等) への成膜が可能

• 保有材料＝約120種類（金属、合金、酸化物、窒化物 etc.）ターゲット在庫表はこちら

• 3層まで同一真空チャンバー内で成膜可能

• 小片～φ300mmサイズの少量～中量産（数100枚）の製造キャパ

弊社スパッタ成膜加工の詳細はこちらから

下の見積依頼フォームからご入力いただければ、迅速且つ速やかな御見積回答が可能になります（ご支給基板の場合も想定したフォームとなっています）。