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パッドコンディショナースイッチングバルブ Pad Conditioner Switching Valve

売り手 協同インターナショナル
ASK
CMP装置用のパッドコンディショナースイッチングバルブ。Parker製バルブアッシーに置き換わる改良タイプ。リーク問題の改善、「プラグ&プレイ」で装置へのインストールが簡単(15分以内)、寿命5年以上の性能改善モデル。TITAN-I/1ヘッド用。AMAT Mirra用のラインアップ。

形状や型番は写真と異なる場合あり(都度要問い合わせ)。
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