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CMP装置研磨ヘッド用メガトルクモーターとドライバー/コントローラーの中古品(動画確認済)。主にNSK製品に対応。モーターは主にベアリング交換を実施。モーターP/N:RS0810FN544、ドライバーP/N:EP0810AF3-05、EP0810AF5-05、EP0810AF8-05。AMAT Mirra用。
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