Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー量産用

Name: Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー 量産用
Brand: 協同インターナショナル
Availability: OutOfStock

協同インターナショナル

ASK

片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学式。全自動/フルオート式。液晶/FPD/LCD/フラットパネルディスプレイ、中量産向け。大型基板(最大20″×20″まで)。オールコンピューター制御。OAI製。

モデル	6020
基板対応サイズ	12インチ角 – 20インチ角まで
マスク対応サイズ	14インチ角 – 24インチ角まで
アライメントステージコントロール	Z 動作 : 1500µm
アライメント精度	片面：0.5μm 両面：1μm
露光時間	1s-999s (0.1s間隔)
露光モード : 解像度	プロキシミティ：5μm ソフトコンタクト：3－5μm ハードコンタクト：2－3μm バキュームコンタクト：＜2μm
スループット	-
付帯設備	電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン
サイズ	71530mmH×76825mmW×36290mmD

数量は1以上でなければなりません

Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー 量産用