Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー量産用

Name: Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー 量産用
Brand: 協同インターナショナル
Availability: OutOfStock

協同インターナショナル

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Model 6020は大きめのフォーマットに適したマスクアライメント露光システムです。フラットパネルディスプレイやその他の大型基板（最大20″×20″まで）のプロセス需要に対応します。

モデル	6020
基板対応サイズ	12インチ角 – 20インチ角まで
マスク対応サイズ	14インチ角 – 24インチ角まで
アライメントステージコントロール	Z 動作 : 1500µm
アライメント精度	片面：0.5μm 両面：1μm
露光時間	1s-999s (0.1s間隔)
露光モード : 解像度	プロキシミティ：5μm ソフトコンタクト：3－5μm ハードコンタクト：2－3μm バキュームコンタクト：＜2μm
スループット	-
付帯設備	電源 : 400V もしくは 208V, 3P5ワイヤー真空ライン、エアーラインもしくは N2ライン、排気ライン
サイズ	71530mmH×76825mmW×36290mmD

数量は1以上でなければなりません

Model 6020 大型基板向け自動マスクアライナー 量産用