Model 32 UV LED光源

UV LED 光源は、要求の厳しいリソグラフィー用途向けにコリメートされており、均一です。

• ビーム サイズ 4 ～ 12 インチ sg
• 波長 365um、405um またはデュアル波長
• デュアル波長チューニングが可能
• +/- 4% より優れたビーム均一性
• 最大ビーム強度 ~25mW/cm2
• 使いやすいタッチスクリーンインターフェース
• コリメーション角度 <= 2 度
• ドーズ管理と時限露光
• PC制御用USBリモートインターフェース
• 長い作動距離

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