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Model 6000 全自動量産マスクアライナー 量産用

売り手 協同インターナショナル
ASK

片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。光学裏面露光式。全自動/フルオート式。半導体、MEMS、研究開発(R&D)向け。中量産向け。オールコンピューター制御、スループットは1時間に180ウェハが可能。OAI製。

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モデル 6000
基板 対応サイズ 50mm~200mmウェハ/角 もしくは
200mm~300mmウェハ/角 100um~7mm厚 7mm~10mm反り量
マスク 対応サイズ -
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±6.5mm
Z 動作 : 1500µm
回転 : ±5°
アライメント 精度 片面:0.5µm
両面:<2µm(3σ)
露光 時間 1s-999s (0.1s間隔)
露光 モード : 解像度 プロキシミティ、 ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、 バキュームコンタクト
スループット -
付帯設備 電源 : 220V
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1651mH x 2184mmW x 1364mmD
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