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Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用

Model 212 マニュアル式片面テーブルトップ大面積マスクアライナー R&D用

協同インターナショナル
ASK

片面マスクアライナー(密着/近接/コンタクト露光)装置。ベンチトップ式のためコンパクトで設置が簡単。マニュアル式。研究開発(R&D)向け。リーズナブル。最大12インチまでの中型基板用。OAI製。

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モデル 212
基板 対応サイズ 12インチ角まで
マスク 対応サイズ 14インチ角まで
アライメント ステージコントロール XY 動作 : ±10mm
Z 動作 : 5mm
回転 : ± 3.5°
アライメント 精度 -
露光 時間 0.1s～99.0s(0.1s間隔）もしくは　1s～999s(1s間隔）
露光 モード : 解像度 プロキシミティ : 5µm(20µm ギャップ)
ソフトコンタクト: 2µm
ハードコンタクト: 1µm
バキュームコンタクト : sub-µm
スループット -
付帯設備 電源 : 110V もしくは 220V (仕様による) 
真空ライン、エアーライン もしくは N2ライン、排気ライン
サイズ 1067mmH×1524mmW×1346mmD
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