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真空磁性(磁気)流体シール。真空装置の真空と大気で分ける部位に利用。半導体/液晶製造装置/スパッタ/エッチング/CVD/イオン注入(インプラ)装置向けなど。フェローテック製品に互換性あり。カスタマイズ可能。
HFG●●●CCシリーズ
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