クリーンルーム環境の特殊な要件を満たすよう設計された包括的なポッドオープナー製品ラインを提供します。

WHS-Oシリーズには、300mm FOUPおよびFOSBキャリア用、RSP150およびRSP200カセットポッド用レチクルマスクハンドリングポッド用、そして200mm SMIFポッドカセット用の4つのカテゴリーがあります。

これらの人間工学に基づいた卓上ツールは、独自のカセットミニエンバイロメントを安全にロック解除し、オペレーターが内部のウェーハやマスクにアクセスできるように設計されています。各製品は耐久性とクリーンルーム適合性を考慮して設計されており、メンテナンスの必要性を最小限に抑えながら長寿命を実現しています。耐摩耗性と低パーティクル性を実現する特殊素材を採用し、クリーンで信頼性の高い操作を実現しています。

クリーン性と人間工学を設計の優先事項とし、使いやすく高機能なポッドオープナーを開発しています。 300mmウェーハキャリアやレチクルマスクへのアクセスが必要な場合でも、WHSポッドオープナーはクリーンルーム環境の要求にも耐えられるよう設計された 安全で効率的なソリューションを提供します。

l  人間工学に基づいたピストルグリップでFOUP/FOSBドアの取り外しが簡単

l  三脚設計でドアを垂直に保ち、汚染を防止

l  耐摩耗性と帯電防止性に優れた素材で保護

l  SEMI E47.1 FOUPカセットに対応

Manual Pistol Grip FOUP Opener (WHS-O5)

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-O5-FOUP

Material：Interface plate: Anodized aluminum | Keys:304 stainless steel

Pod type：FOUP or geared FOSB

System：Manual system

Material, base：Natural polypropylene

Cleanliness：ISO 3 (Class 1 FS209E)