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静電チャック(ESC/Eチャック)再生/修理 ESC/ECHUCK Refurbishment/Repair
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N-Yng
ASK

イオン注入(インプラ/IMP)装置の静電チャック(ESC/ECHUCK)の再生/修理。純正P/N:NI970858の互換品。Exceed2000/2300用。

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