チャッククリーニングウェハ(CCW) 6025ガラスマスク用 Chuck Cleaning Wafer for Glass Mask 6025

真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。

RNC-MCP-8601-CS(MCP-8601-CS), RNCM-0601S2G8(MCP-8601-2EE-CS), RNCM-0601S5G9(MCP-8601-EPO-5MM-CS), RNCM-0610S5G9(MCP-8610-EPO-5MM-CS), RNCM-0601S5A1(MCP-8601-5EE)

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