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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-15B-0022J(CCW-7022J-01-150-FL), RNC-15B-0022JA0(CCW-7022J-01-150-NEX), RNC-25A-0022J(CCW-7022J-001-257-FL), RNC-25A-0022JA0(CCW-7022J-001-257-NEX)
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