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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-25A-0020F(CCW-7020-001-257-FL), RNC-15B-0020F(CCW-7020-01-150-FL), RNC-15B-0020FA0(CCW-7020-01-150-NEX), RNC-15B-0020FG7(CCW-7020-01-150-HT)
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