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真空/バキューム/静電/メカニカル/ピンチャック上のゴミ/塵/パーティクルを除去するためのクリーニングウェハ。ダミーウェハ/ウェハー/ウェーハ/ウエハ/ウエハー/ウエーハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減、ヘリウム(He)リーク/露光不良の改善に効果的。4、5、6、8、12インチ用のラインアップ。
RNC-SCB-0015NG7(CCW-7015-01-SC4-HT), RNC-SCB-0015NH2(CCW-7015-01-SC4-HT-CSC), RNC-SCB-0015NH0(CCW-7015-01-SC4-HT-NEX), RNC-PHA-0015N(CCW-7015-001-PM-H), RNC-PHA-0015NG6(CCW-7015-001-PM-H-CSC), RNC-PPA-0015N(CCW-7015-001-PM-PLUS)
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