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l 接地されたウェハとカセットのパスを備えた帯電防止構造
l クリーニングとメンテナンスを簡素化するクイックディスコネクトローラー
l ±1以内の正確なプライマリフラットアライメント
l アライメント、ロットの整合性、エッジ検査タスクをサポート
76mm（φ3インチ用）
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-A1-301
Remarks：*** NOTE: Please specify cassette model number(s) when ordering ***
Material：Antistatic Polyoxymethylene
Wafer size：076 mm (3”)
System：Automatic system
Slots：Up to 25
Material roller：Antistatic EPDM
Aligning accuracy：Better than +/- 1°
Cleanroom designation：ISO 3 (Class 1 FS209E)
100mm（φ4インチ用）
Product Number：WHS-A1-401
Wafer size：100 mm (4”)
150mm（φ6インチ用）
Product Number：WHS-A1-601
Wafer size：150 mm (6”)
200mm（φ8インチ用）
Product Number：WHS-A1-801
Wafer size：200 mm (8”)
Product Number：WHS-A1-701
Wafer size：Multisize 76,100,125,150 mm
WHS-A1シリーズは、76、100、125、150 mmのウェハ全体にわたって正確なウェハアライメントを実現するように設計された最先端の自動フラットアライナーで、精度は±1°以内です。最先端のテクノロジーとESD対策素材で構築されたWHS-A1は、InP、GaAs、GaN、SiCなどの高度な素材の取り扱いに最適で、今日の複合半導体業界に最適なソリューションです。このシステムには、ウェハを穏やかに持ち上げ、ウェハのエッジを保護し、生産歩留まりを最大化する電動ステージが搭載されています。
統合されたタッチスクリーンインターフェイスにより、ユーザーは標準アライメント、薄型/複合ウェハアライメント、エッジ検査モードなど、複数のプログラムにアクセスできます。クリーンルーム環境向けに設計されたWHS-A1は、ISO3(クラス1 FS209E)条件で動作し、最も厳格な清浄度および汚染管理基準に準拠しています。
クイックディスコネクトローラーアセンブリにより、アライナーのメンテナンスが容易になり、ダウンタイムが最小限に抑えられます。また、SEMI準拠のウェハカセットとの互換性により、既存のプロセスへのシームレスな統合が実現します。
ロットの完全性、結晶配向、ウェハエッジ検査のいずれに使用する場合でも、WHS-A1は運用効率と製品品質を向上させるように設計されています。ISO9001およびCE認定施設で製造されたWHS-A1は、安全性、パフォーマンス、信頼性に関する最高の世界基準に準拠しています。
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