クリーンルーム環境における作業効率の向上とウェハ損傷リスクの低減を目的とした、多用途のウェハプレゼンターを提供しています。WHS-Pシリーズには4つの基本モデルがあり、それぞれ最先端の材料を用いて設計されているため、ウェハハンドリング性が向上し、手作業によるウェハ操作による傷のリスクを最小限に抑えることができます。
ウェハの検査、特定のウェハの選択、ウェハIDの確認など、WHSはお客様のニーズに最適なツールです。
ロボット式自動ウェハプレゼンターのWHS-P1は、ウェハをカセットから完全に取り出し、検査、選択的な搬出、または裏面処理のためのウェハ反転（180°）を行います。この自動化により、手作業による作業が削減され、ウェハ取り出し時の精密な制御が可能になります。3インチ用（2タイプ）、4インチ用（2タイプ）、6インチ用（2タイプ）、8インチ用（2タイプ）の4種類のラインアップがあります。
l 傷防止用のツール
l マクロウェハ検査ステーション
l ウェハ反転/反転
l 静電気防止接地経路構築
l レシピプログラム可能
l 安全なエッジハンドリング用リフトブレード
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 76 mm (3”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-301
Size：76 mm (3”)
System：Automatic system
Slots：25
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 76 mm (3”) incl. table
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-301-T
Remarks：Including cleanroom table
Size：76 mm (3”)
System：Automatic system
Slots：25
Table：With cleanroom table
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 100 mm (4”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-401
Size：100 mm (4”)
System：Automatic system
Slots：25
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 100 mm (4”) incl. table
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-401-T
Remarks：Including cleanroom table
Size：100 mm (4”)
System：Automatic system
Slots：25
Table：With cleanroom table
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 150 mm (6”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-601
Size：150 mm (6”)
System：Automatic system
Slots：25
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 150 mm (6”) incl. table
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-601-T
Remarks：Including cleanroom table
Size：150 mm (6”)
System：Automatic system
Slots：25
Table：With cleanroom table
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 200 mm (8”)
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-801
Size：200 mm (8”)
System：Automatic system
Slots：25
Cleanroom designation：ISO 3
Automatic single wafer presenter (WHS-P1) 200 mm (8”) incl. table
Specifications
Brand：WHS
Product Number：WHS-P1-801-T
Remarks：Including cleanroom table
Size：200 mm (8”)
System：Automatic system
Slots：25
Table：With cleanroom table
Cleanroom designation：ISO 3
