エレクトロニクス関連商品のオンラインストア 2023年1月16日[月] AM10:00オープン
AMAT ENDURA,、P5000、Centura用CVGアッセンブリーのアップグレードモデル。
【特長】
・セラミックレジスターとクォーツチューブを取り除くことで全ての欠陥の元を無くすことができるデザインです。
・再組み上げ時間を大幅に短縮し、最初の組み上げ成功率も向上させています。
・PMの時間を短縮でき、装置ダウンタイムの低減に寄与します。
【対応機種】
OEM Reference P/N
Chamber Type
Input Block
Output Block
DLH SACVD CVG
0021-23550
0021-10296
DLH SiN PECVD CVG
0020-09602
0020-10134
TxZ HP+ CVG
0040-05294
0040-02938
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