METALS 装置名 中型機 大型機 41CP/42CP/43TMP 81CP/82CP/83TMP/84TMP Au ◯ ◯ Al ◯ ◯ Ag ◯ ◯ B ◯ - C ◯ ◯ Co ◯ ◯ Cr ◯ ◯ Cu ◯ ◯ Fe ◯ ◯ Ge ◯ ◯ Hf ◯ - In ◯ - Ir ◯ - Mg ◯ - Mn ◯ - Mo ◯ ◯ Nb ◯ - Ni ◯ ◯ Pd ◯ - Pt ◯ ◯ Rh ◯ - Ru ◯ - Si(N型)（1～50Ω･cm） ◯ ◯ Si(P型)（1～50Ω･cm） ◯ ◯ Si(N型)(高抵抗)（1000Ω･cm以上） ◯ - Si(N型)(高抵抗)（5000Ω･cm以上） ◯ - Sn ◯ - Ta ◯ ◯ Ti ◯ ◯ V ◯ - W ◯ ◯ Y ◯ - Zn ◯ - Zr ◯ - SILICIDES 装置名 中型機 大型機 41CP/42CP/43TMP 81CP/82CP/83TMP/84TMP CoSi2 ◯ ◯ MoSi2.5 ◯ - NiSi2 ◯ - TaSi2 ◯ - TiSi2 ◯ ◯ WSi2 ◯ ◯ WSi2.5 ◯ - ZrSi2 ◯ - NITRIDES 装置名 中型機 大型機 41CP/42CP/43TMP 81CP/82CP/83TMP/84TMP AlN ◯ - BN ◯ - Mo2N ◯ - Si3N4 ◯ ◯ ZrN ◯ - CARBIDES 装置名 中型機 大型機 41CP/42CP/43TMP 81CP/82CP/83TMP/84TMP SiC ◯ ◯ TiC - ◯ ALLOYS 装置名 中型機 大型機 41DP/42CP/43TMP 81CP/82CP/83TMP/84TMP Al-Cu ◯ ◯ 99.5:0.5wt% Al-Nd ◯ - 98:2at% Al-Sc ◯ - 99.9:0.1wt% Al-Si ◯ ◯ 99:1wt% Al-Si-Cu ◯ ◯ 98.5:1:0.5wt% Al-Ti ◯ - 99.5:0.5wt% Au-Sn ◯ - 70:30wt% Cu-Ni - - 96:4wt% Co-Cr ◯ - 85:15wt% Fe-Co ◯ - 70:30at% Ni-Cr ◯ ◯ 80:20wt% Ni-Fe ◯ - 80:20wt% Ni-V - ◯ 93:7wt% TiW ◯ ◯ 10:90wt% OXIDES 装置名 中型機 大型機 41CP/42CP/43TMP 81CP/82CP/83TMP/84TMP Al2O3 ◯ ◯ AZO ◯ - 3:97wt% BaTiO3 ◯ - CeO2 ◯ ◯ CuO ◯ ◯ Fe2O3 ◯ - Ga2O3 ◯ - Gd2O3 ◯ - HfO2 ◯ ◯ In2O3 ◯ - ITO ◯ ◯ 90:10wt% IZO ◯ ◯ 89.3:10.7wt% LiCoO2 ◯ - LiMn2O4 ◯ - LiNbO3 ◯ - Li3PO4 ◯ - MgO ◯ - Mn2O3 ◯ - Nb2O5 ◯ - NiO ◯ - PZT ◯ ◯ Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 RuO2 ◯ - SiO ◯ - SiO2 ◯ ◯ SnO ◯ - SnO2 ◯ - SrRuO3 ◯ - SrTiO3 ◯ - Ta2O5 ◯ ◯ TiO2 ◯ ◯ WO3 ◯ - Y2O3 ◯ - ZnO ◯ ◯ ZrO2 : Y2O3 ◯ - YSZ（97:3mol%）安定化ジルコニア これらのターゲットも対応可能です。 METALS Bi SILICIDES CrSi2 3:97wt% WSi0.4 NITRIDES Cr2N CARBIDES WC ALLOYS Cu-Cr 92:8wt% Cu-Cr 94:6wt% Cu-Cr 96:4wt% Cu-Ni 94:6wt% Co-Ni 80:20wt% Ni-Cr-Si 40:40:20wt% Ni-Cr-Si 45:45:10wt% OXIDES CaCO3 CrSiO 40:60at% TaSiO2 20:80at% TaSiO2 30:70at% TaSiO2 40:60at% TaSiO2 45:55at% Ta-SiO2-Ni 65.7:32.7:1.6at% OTHERS BK7 テフロン CaF CaF2 MgF2
