高温環境下での使用、ウェハの自動化、搬送プロセスにフレキシブルに対応できる半導体用メタル製ウェハカセットです。すべてSEMI規格に準拠しており、業界標準の装置との互換性と、様々なアプリケーションにおける高い性能を保証します。

WHS-Mシリーズには、さまざまなニーズに合わせてカスタマイズされた4つのモデルがあります。

・主力製品であるWHS-M1（350℃）には、25スロット（標準）と13スロット（薄型ウェハ用）の2種類（アルミ/Al製）があります。形状は業界標準のプラスチック製カセットと一致していて、自動化システムや搬送システムへのシームレスな統合を可能にします。

・WHS-M2（250℃）は、PTFEテフロン製ウェハストッパーを備えた従来型のアルミ/Al製カセットで、旧式のCVDプロセスツールの置き換えに最適で高い信頼性を発揮します。

・WHS-M3は高温アプリケーションに適した堅牢なステンレス鋼製で最高550℃までの温度に耐えることができます。

・WHS-M4には、アルミ/Al製とステンレス/SUS製の2種類の300mmカセットオプションがあり、特定のプロセス用途に合わせて選択することが可能です。

WHS製メタルカセットは、高精度な製造技術と先進的な材料を用いた設計が特徴で、半導体メーカーが必要とする“耐久性”と“信頼性”の実現に貢献します。

l  耐熱性・耐薬品性

l  精密な取り扱い

l  クリーンルーム適合性

Replacement cassettes for ASM Epsilon 2000 Epitaxial cassettes

Specifications

Brand：WHS

Product Number：WHS-M5

Material：Polyetherimide – PEI

Wafer size：200 mm 8"

Slots：26