UPAアップグレード＋ウォーターフォールタイプへのアップグレード

Name: UPAアップグレード＋ウォーターフォールタイプへのアップグレード
Brand: CBT
Availability: OutOfStock

CBT

ASK

CMP装置のEPレギュレーター(主にSMC製)をデジタルレタイプのレギュレーターへ改造、および、Eチェーン(カットトラック)部位をウォーターフォール方式へ改造するアップグレード。AMAT Mirra用。200mm(8インチ) TITAN-1ヘッド用。EPレギュレーターの純正P/N：0015-03787（旧品番：0090-77286）等。

【アップグレードの内容】

・全4ヘッドUPAマニフォールドAssyのアップグレード

・既存EチェーンAssyの取り外し＋UPAハウジング付きUPAウォーターフォールタイプへの付け替え

・改造に必要な交換パーツ（新品ケーブル、新品チューブ、他アクセサリー関係）

・2人のエンジニアによる現地設置作業

※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。

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