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UPAカバー(マグネットタイプ) UPA COVER with Magnet Type

Vendor CBT
ASK
CMP装置用保護カバー。ロータリーユニオン~研磨ヘッド部までを覆う樹脂製のカバーでマグネット脱着式に改良したアップグレードモデル。ネジの取り付け/外しの手間をなくし、ネジの落下問題も改善。AMAT(Applied Materials) Mirra TITAN-1ヘッド用。200mm(8インチ用)。P/N:0040-40785の互換品。

※写真は代表的なものを載せているため、実物と異なる場合があります。
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